｜東京計装株式会社

ガラス管パージメータ

汎用タイプの小形面積流量計です。
コンパクトながら警報出力付きも選択でき、幅広い用途に対応しています。

製品スペック
取付寸法	115 mm	警報出力	〇
気体計測	〇	流量範囲 (空気)	最小　0.5 ～ 5 mL/min (nor) 最大　5 ～ 50 L/min (nor)
液体計測	〇	流量範囲 (水)	最小　5 ～ 50 mL/min 最大　0.4 ～ 2 L/min

ガラス管パージメータ

P-200

汎用タイプの小形面積流量計です。
2点の警報出力付きが選択できます。幅広い用途に対応しています。

製品スペック
取付寸法	200 mm	警報出力	〇
気体計測	〇	流量範囲 (空気)	最小　5 ～ 50 mL/min (nor) 最大　6 ～ 60 L/min (nor)
液体計測	〇	流量範囲 (水)	最小　5 ～ 50 mL/min 最大　0.2 ～ 2 L/min

ガラス管パージメータ

P-400

本体材質がオールステンレスで耐食性に優れています。

製品スペック
取付寸法	200 mm	警報出力	-
気体計測	〇	流量範囲 (空気)	最小　80 ～ 800 mL/min (nor) 最大　6 ～ 60 L/min (nor)
液体計測	〇	流量範囲 (水)	最小　5 ～ 50 mL/min 最大　0.2 ～ 2 L/min

ガラス管パージメータ

P-510

本体材質がオールステンレスで耐食性に優れています。
パージメータの中では最大の流量が計測可能です。

製品スペック
取付寸法	200 mm	警報出力	〇
気体計測	〇	流量範囲 (空気)	最小　2.5 ～ 25 L/min(nor) 最大　60 ～ 600 L/min (nor)
液体計測	〇	流量範囲 (水)	最小　0.1 ～ 1 L/min 最大　3 ～ 30 L/min

ガラス管パージメータ

P-880

気体計測専用のガラス管パージメータです。
パージメータの中では微小流量の計測に特化しています。取り付け寸法のラインアップが多く設計の自由度を高めます。

製品スペック
取付寸法	115・130・ 145 mm	警報出力	〇
気体計測	〇	流量範囲 (空気)	最小　0.15 ～ 1.5 mL/min (nor) 最大　6 ～ 60 L/min (nor)
液体計測	-	流量範囲 (水)	-

ガラス管パージメータ

XP

ポリアセタール（POM）本体を採用したコンパクトなパージメータです。
短納期でコストエフェクティブ。

製品スペック
取付寸法	80 mm	警報出力	〇
気体計測	〇	流量範囲 (空気)	最小　0.1 ～ 1 L/min (nor) 最大　2 ～ 20 L/min (nor)
液体計測	〇	流量範囲 (水)	最小　0.02 ～ 0.1 L/min 最大　0.2 ～ 1 L/min

樹脂製パージメータ

P-060

アクリルの一体成型品でローコストな樹脂製パージメータです。

製品スペック
取付寸法	84 mm	警報出力	〇
気体計測	〇	流量範囲 (空気)	小流量タイプ最小　0.2 ～ 2 L/min (nor) 最大　5 ～ 50 L/min (nor) 大流量タイプ最小　5 ～ 50 L/min (nor) 最大　30 ～ 300 L/min (nor)
液体計測	〇	流量範囲 (水)	小流量タイプ最小　10 ～ 100 mL/min 最大　0.3 ～ 3 L/min 大流量タイプ最小　0.3 ～ 3 L/min 最大　1 ～ 10 L/min

フッ素樹脂製パージメータ

P-710

フッ素樹脂製で高い耐食性を実現しています。
腐食性のある薬液・溶剤に幅広くご使用いただけます。

製品スペック
取付寸法	79 mm	警報出力	〇
気体計測	〇	流量範囲 (空気)	最小　50 ～ 500 mL/min (nor) 最大　2 ～ 20 L/min (nor)
液体計測	〇	流量範囲 (水)	最小　3 ～ 30 mL/min 最大　0.4 ～ 2 L/min

小口径パージセット

CP/CM

C形定流量弁とPシリーズパージメータまたはM-900形小流量用金属管面積流量計を組み合わせた小口径パージセットです。

中口径パージセット

CR/CAM

C形定流量弁とR形ガラス管面積流量計またはAM7000形金属管面積流量計を組み合わせた中口径パージセットです。

現場指示モデル、警報発信器付きモデル

O-180/O-780

オリフィスプレートを組み込んだ測定管に小形のガラス管面積流量計を取り付けた一体形オリフィス式流量計です。簡単に流量を測定したい場合に最適です。現場指示のほかリードスイッチによる警報出力が可能です。

デジタル表示器搭載モデル

HDT1000

オリフィスプレートを組み込んだ測定管にデジタル差圧計を取り付けた一体形オリフィス式流量計です。バッテリータイプ、電流発信器付きなど多彩なラインアップがあります。

現場指示、電流発信器付きモデル

O3000

オリフィスプレートを組み込んだ測定管に金属管面積流量計AM3000を取り付けた一体形オリフィス式流量計です。現場指示に加え電流発信付きやHART®通信付き電流発信を選択できます。耐圧防爆仕様や本質安全防爆仕様も選択できます。

高分解目盛モデル

O-100

オリフィスプレートを組み込んだ測定管にガラス管面積流量計R形を取り付けた一体形オリフィス式流量計です。現場指示に加えリードスイッチや光電スイッチによる警報出力が可能です。

多機能モデル

O7000

オリフィスプレートを組み込んだ測定管に金属管面積流量計AM7000を取り付けた一体形オリフィス式流量計です。各種警報、信号出力、防爆仕様等幅広いラインアップがあります。

面間250mmモデル

NLZ

流れ方向が下から上のスタンダートな金属管面積流量計です。
各種警報、信号出力、防爆仕様等幅広いラインアップがある汎用の流量計です。

多機能モデル

AM7000

各種警報、信号出力、防爆仕様等幅広いラインアップがある汎用の金属管面積流量計です。オプションで様々な付加仕様がありプロセスに最適な仕様を選定いただけます。高温、高圧、特殊材質等、豊富な製作実績があります。

サニタリーモデル

AM7000/SR

AM7000のサニタリーモデルです。
接液部は全てバフ研磨されておりオプションにより電解研磨品も選択できます。
接続はISO 規格のへルールクランプで容易に配管への着脱が可能です。
洗浄性にも優れています。

ストレートツインチューブコリオリ質量流量計

MASSMAX® 1400R

コストパフォーマンスに優れるストレートチューブモデル。
性能・安全性・コストパフォーマンスの両立を実現。

ストレートシングルチューブコリオリ質量流量計

MASSMAX® 7400R

高精度で洗浄性に優れる完全ストレート・シングルチューブタイプ。
ストレートチューブで容易な設置と高精度を実現。

高精度低温・高温対応コリオリ質量流量計

MASSMAX® 6400R

高精度かつ低温から高温・高圧プロセス液の幅広い質量流量測定が可能。
小流量から大流量まで幅広いアプリケーションに対応。

微小流量シングルチューブコリオリ質量流量計

MASSMAX® 3400R

微小流量域のワイドレンジな高精度測定が可能。
1kg/h以下の小流量から測定可能で、微小流量の高精度測定に最適。

ストレートツインチューブコリオリ質量流量計

MASSMAX® 2400R

大口径・大流量に対応するコリオリ質量流量計。
大流量の液移送流量管理アプリケーションに対応。

オイルから純水まで高精度測定

UL3400

3ビーム（3測線）による高精度測定を実現
オイル・溶剤・ボイラー水・糖液など低導電率液体の流量測定に最適
測定管内は直管構造で可動部・曲がり・障害物がなく低圧力損失で基本的にメンテナスフリー国内防爆も対応

高温液体用インラインタイプ

OPTISONIC 4400 HT

最高600℃までの高温プロセスに対応
高温オイル、熱媒体液、溶融塩などの流量測定に好適
口径 25 ～ 1000 mmをラインアップ

高圧液体用インラインタイプ

OPTISONIC 4400 HP

最大49MPaまでの高圧プロセスに対応
高圧スプレー/インジェクションウォーターや各種高圧プロセスの流量測定に好適
口径 25 ～ 600 mmをラインアップ

2線式渦流量計

VFM4200

温度センサと圧力センサを内蔵したオールインワンタイプの2線式渦流量計です。

サーマルフローメータ

TH

熱伝達理論にもとづく東京計装オリジナルの気体用熱式流量計です。各種センサをラインアップ、配管径15A～1500Aに対応可能です。

メタルシール・サーマルフローメータ

SRT1000

東京計装が長年培ったノウハウを踏襲し、オールメタルシール、Reading精度、デジタル出力など性能を向上させた気体用熱式流量計です。配管径10A ～ 1500A に対応、コンバータ一体形/分離形を選択できます。

NEW

液体用ポータブルクランプオン超音波流量計

OPTISONIC 6300 P

15A ～ 4000A の幅広い配管に対応した液体用ポータブルタイプ
スマートフォンやタブレットなどの携帯型スマートデバイスによるユーザーフレンドリーな操作性
ワイヤレス・Webアプリケーションによる迅速かつ簡単な設定
センサレール組み込みのトランスデューサにより、容易な設置と高性能を実現

シンプル機能スタンダードモデル

UL330R

25A～400Aの配管にフレキシブルに対応
半導体純水設備等の純水流量測定に最適

UL330の高機能モデル

UL350

25A～1000Aの幅広い配管にフレキシブルに対応
RS-485デジタル通信

クランプオンタイプのマルチハイグレードモデル

UL6300 V2

15A～4000Aの幅広い配管にフレキシブルに対応
2測線による安定測定（ひとつの配管に2組のセンサー設置）
2系統の配管流量を一つの変換器で測定可能（2つの配管に個別にセンサーを取り付け、1台の変換器で個別に流量測定）

日本国内防爆対応 NEW
国内防爆エリアで使用可能な日本防爆形をラインアップ

電流発信器付きモデル

AM3000

金属管面積流量計の中では小流量の測定に特化した流量計です。
電流発信付き又はHART®通信付き電流発信を選択できます。
耐圧防爆仕様や本質安全防爆仕様も選択できます。

現場指示、空気発信、警報発信器付きモデル

M-900

金属管面積流量計の中では小流量の測定に特化した流量計です。
各種警報、信号出力等幅広いラインアップがある汎用の流量計です。

微小流量測定モデル

MA-900

金属管面積流量計の中では微小流量域の測定に特化した流量計です。
AM3000やM-900で測定できない微小流量域をカバーします。

デジタル表示器搭載モデル

MA-920

流量表示にLCDを採用した電流発信器付きの金属管面積流量計です。
オプションで耐圧防爆仕様も選択できます。

一体形電磁流量計

MAGMAX® EGM1050C

ウエハ形 1000シリーズ検出器とシンプルタイプEGC050C変換器を組み合わせた一体形
・口径：10 〜 150 mm

一体形電磁流量計

MAGMAX® EGM1100C

ウエハ形 1000シリーズ検出器と汎用タイプEGC100C変換器を組み合わせた一体形
・口径：10 〜 150 mm

一体形電磁流量計

MAGMAX® EGM1300C

ウエハ形 1000シリーズ検出器と高性能タイプEGC300C変換器を組み合わせた一体形
・口径：10 〜 150 mm

電磁流量計検出器

MAGMAX® EGS1000

ウエハ形 1000シリーズ分離形検出器
・口径：10 〜 150 mm

Vコーン流量計

VD/VC

管路においたV形コーンで流れを絞り、差圧を発生させ流量を測定します。基本的に直管長が不要で、オリフィス式流量計に比べ半分以下の圧力損失です。測定流体は液体、気体、飽和蒸気など幅広く対応します。信号出力や防爆仕様に対応します。

ガラス管パージメータ

P-530

取付寸法が150mmとコンパクトながら比較的大きい流量を計測可能です。

ガラス管パージメータ

P-810

半導体製造プロセスの各種ガスの流量測定に最適。
外周シール採用で高信頼。各種装置で豊富な使用実績。
電解研磨処理、低リークの高品位タイプもあります。

ガラス管パージメータ

P-820

各種半導体関連の装置に幅広く使用されています。
オプションでリードスイッチ警報出力やPAUオプティカルアラームユニットを搭載可能です。

ガラス管パージメータ

P-830

流体温度最高130℃までカバーする耐熱性に優れたパージメータです。
オプションでリードスイッチ警報出力にも対応します。

ガラス管パージメータ

P-850

取付寸法80mmのコンパクトなパージメータです。
各種装置の組込に最適です。

ガラス管パージメータ

P-900

取付寸法114mm、224mmの汎用パージメータです。

ガラス管パージメータ

P-010

取付寸法がP-100シリーズと同じ115mmのパージメータです。
使用流体を水・空気・窒素用に限定した汎用品でロット生産に対応します。
同一仕様、10 台以上ご検討の場合に最適です。

樹脂製パージメータ

P-620

アクリル成型、液体専用の汎用パージメータです。
オプションでリードスイッチ警報が選択可能です。

フッ素樹脂製パージメータ

P-771

液体専用でフッ素樹脂パージメータの中では小流量をカバーします。
純水、超純水、薬液の測定など半導体製造プロセス等で豊富な実績があります。
取付寸法80mmです。オプションでPAUアラームユニットを搭載可能です。

フッ素樹脂製パージメータ

P-772

液体専用でフッ素樹脂パージメータの中では大流量をカバーします。
純水、超純水、薬液の測定など半導体製造プロセス等で豊富な実勢があります。
取付寸法150mmです。オプションでリードスイッチ警報、PAUアラームユニットを搭載可能です。

フッ素樹脂製パージメータ

P-773

液体専用でフッ素樹脂パージメータの中では中流量をカバーします。
純水、超純水、薬液の測定など半導体製造プロセス等で豊富な実勢があります。
取付寸法115mmです。オプションでリードスイッチ警報、PAUアラームユニットを搭載可能です。

フッ素樹脂製パージメータ

P-774

液体専用でフッ素樹脂パージメータの中では中流量をカバーします。
純水、超純水、薬液の測定など半導体製造プロセス等で豊富な実勢があります。
取付寸法100mmです。オプションでリードスイッチ警報を選択可能です。

デジタル表示器搭載、ウェハ接続モデル

VNT

Vコーン流量計のウェハ接続タイプです。Wafer Cone®と差圧発信器を組み合わせた一体形差圧流量計です。測定流体は液体、気体から飽和蒸気まで幅広く対応します。

デジタル表示器搭載、ウェハ接続モデル

VDT

Vコーン流量計のウェハ接続タイプです。Wafer Cone®とマルチデジタル差圧計のDTを組み合わせた一体形差圧流量計です。バッテリータイプ、電流発信器付きなど多彩なラインアップがあります。

現場指示、警報発信器付き、ウェハ接続モデル

VTW

Vコーン流量計のウェハ接続タイプです。Wafer Cone®に小形面積流量計を流量指示計として取り付けた分流式流量計です。オリフィス式流量計と比較し、必要直管長も短く、圧力損失も低減できます。

デジタル表示器搭載、ウェハ接続モデル

VT

Vコーン流量計のウェハ接続タイプです。
Wafer Cone® に差圧発信器を搭載した一体形モデルと差圧発信器搭載なしのモデルをラインアップしています。

Wafer Cone® 測定管

VH

Wafer Cone® 流量計の測定管部です。

一体形電磁流量計

MAGMAX® EGM2050C

フランジ形 2000シリーズ検出器とシンプルタイプEGC050C変換器を組み合わせた一体形
・口径：25 〜 1000 mm

一体形電磁流量計

MAGMAX® EGM2100C

フランジ形 2000シリーズ検出器と汎用タイプEGC100C変換器を組み合わせた一体形
・口径：25 〜 1000 mm

一体形電磁流量計

MAGMAX® EGM2300C

フランジ形 2000シリーズ検出器と高性能タイプEGC300C変換器を組み合わせた一体形
・口径：25 〜 1000 mm

電磁流量計検出器

MAGMAX® EGS2000

フランジ形 2000シリーズ分離形検出器
・口径：25 〜 3000 mm

現場指示、液体専用モデル

NE

水用の標準目盛が付された汎用のガラス管面積流量計です。
流体が水及び水相当の場合にご検討ください。

スタンダードモデル

R-101-E

R-100の大流量モデルです。
ガラス管面積流量計の中では大流量の測定が可能です。

小流量・高分解目盛モデル

R-100

汎用のガラス管面積流量計です。
電源不要で手軽に流量を測定することが可能です。

警報発信器付き・高分解目盛モデル

R-700 / R-700-E

警報発信器を搭載したガラス管面積流量計です。
リードスイッチ又は光電スイッチによる警報出力が可能です。

サニタリーモデル

R-101-SR

R-100のサニタリーモデルです。
接液部はガラス又は全てバフ研磨されておりオプションにより電解研磨品も選択できます。接続はISO 規格のへルールクランプで容易に配管への着脱が可能です。洗浄性にも優れています。

PVC、アクリル樹脂モデル

AC

液体専用の汎用樹脂製面積流量計です。
口径15～50Aに対応し手軽に使用できます。
オプションで警報発信器付きを選択できます。

フッ素樹脂製モデル

AC-T

ACの上位グレードモデルの面積流量計です。
オールフッ素樹脂製で腐食性液体や薬液の計測に最適です。
オプションで警報発信器付きを選択できます。

一体形電磁流量計

MAGMAX® EGM4050C

フランジ形 4000シリーズ検出器とシンプルタイプEGC050C変換器を組み合わせた一体形
・口径：10 〜 1000 mm

一体形電磁流量計

MAGMAX® EGM4100C

フランジ形 4000シリーズ検出器と汎用タイプEGC100C変換器を組み合わせた一体形
・口径：10 〜 1000 mm

一体形電磁流量計

MAGMAX® EGM4300C

フランジ形 4000シリーズ検出器と高性能タイプEGC300C変換器を組み合わせた一体形
・口径：10 〜 1000 mm

電磁流量計検出器

MAGMAX® EGS4000

フランジ形 4000シリーズ分離形検出器
・口径：10 〜 3000 mm

マルチデジタル・ピトー管流量計

CDT1000 / CDT2000

ピトー管流量センサとDTマルチデジタル差圧計を組み合わせた瞬間流量計です。
・CDT1000：固定タイプ
・CDT2000：着脱タイプ

ピトー管流量計

CFW1000 / 2000

ピトー管流量センサとガラス管面積流量計を組み合わせた瞬間流量計です。
・CFW1000：固定タイプ
・CFW2000：着脱タイプ

マルチデジタル差圧計

DT

見やすい大形LCDディスプレー/バーグラフを装備し、開平演算、スケーリング、リニアライズ、バッテリー駆動などマルチ機能を備えた差圧計です。

セラミック一体形電磁流量計

MAGMAX® EGM5100C

セラミック 5000シリーズ検出器と汎用タイプEGC100C変換器を組み合わせた一体形
・口径：2.5 ～ 100 mm

セラミック一体形電磁流量計

MAGMAX® EGM5300C

セラミック 5000シリーズ検出器と高性能タイプEGC300C変換器を組み合わせた一体形
・口径：2.5 ～ 100 mm

セラミック電磁流量計検出器

MAGMAX® EGS5000

セラミック 5000シリーズ分離形検出器
・口径：2.5 ～ 100 mm

サーマルマスフローメータ〔バイパス分流式〕

TF-5000/6000

気体用熱式質量流量計で、各種ガスの質量流量を圧力・温度などプロセス条件に依存せずに計測することができます。
・TF-5000：一般形（0.98 MPa max.）
・TF-6000：高圧形（32 MPa max.）

サーマルマスフローコントローラ〔バイパス分流式〕

TC-1000/2000

気体用熱式質量流量計とコントロールバルブを組み合わせたマスフローコントローラです。圧力・温度の変化に影響されずに各種気体の質量流量を高精度制御します。
・TC-1000：一般形（0.98 MPa max.）
・TC-2000：高圧形（10 MPa max.）

サーマルマスフローメータ / コントローラ〔バイパス分流式〕

EP-TF-5300/EP-TC-1000/2000V

耐圧防爆形の気体用熱式質量流量計およびコントロールバルブです。圧力・温度の変化に影響されずに各種気体の質量流量を高精度に計測・制御します。
・(H-)EP-TF-5300：質量流量計（14.7 MPa max.）
・EP-TC-1000：コントロールバルブ（2.9 MPa max.）
・EP-TC-2000V：コントロールバルブ（9.8 MPa max.）