HM5000

流量計測機器

熱式流量計

サーマルマスフローメータ / コントローラ〔バイパス分流式〕

HM5000は気体用のマスフローメータです。汎用、高性能の2タイプがあり、用途・目的に合わせて選択できます。

カタログ・パンフレット

※記載事項は製品改良のため予告なく変更することがあります。

タイプ	汎用マスフローメータ HM5122B、HM5123B マスフローコントローラ HM5172B、HM5182B HM5173B	高性能マスフローメータ HM5111B、HM5112B、HM5113B マスフローコントローラ HM5141B、HM5151B HM5142B、HM5152B HM5143B
測定対象	気体全般
口径	1/4"、3/8"、1/2"
流量レンジ	最大：0 ～ 400L/min(nor) 最小：0 ～ 30L/min(nor)	最大：0 ～ 400L/min(nor) 最小：0 ～ 5mL/min(nor)
流体温度	5 ～ 45℃
流体圧力	0.97MPa max.
プロセス接続	標準 : SW (オプション:VCR、VCO)
測定精度	±2.0％～ ±4.0％F.S	±1.0％～ ±2.0％F.S

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