サーマルフローメータ
TH
熱伝達理論にもとづく東京計装オリジナルの気体用熱式流量計です。 各種センサをラインアップ、配管径15A～1500Aに対応可能です。
メタルシール・サーマルフローメータ
SRT1000
東京計装が長年培ったノウハウを踏襲し、オールメタルシール、Reading精度、デジタル出力など性能を向上させた気体用熱式流量計です。 配管径10A ～ 1500A に対応、コンバータ一体形/分離形を選択できます。
サーマルマスフローメータ〔バイパス分流式〕
TF-5000/6000
気体用熱式質量流量計で、各種ガスの質量流量を圧力・温度などプロセス条件に依存せずに計測することができます。 ・TF-5000：一般形（0.98 MPa max.） ・TF-6000：高圧形（32 MPa max.）
サーマルマスフローコントローラ〔バイパス分流式〕
TC-1000/2000
気体用熱式質量流量計とコントロールバルブを組み合わせたマスフローコントローラです。圧力・温度の変化に影響されずに各種気体の質量流量を高精度制御します。 ・TC-1000：一般形（0.98 MPa max.） ・TC-2000：高圧形（10 MPa max.）
サーマルマスフローメータ / コントローラ〔バイパス分流式〕
EP-TF-5300/EP-TC-1000/2000V
耐圧防爆形の気体用熱式質量流量計およびコントロールバルブです。圧力・温度の変化に影響されずに各種気体の質量流量を高精度に計測・制御します。 ・(H-)EP-TF-5300：質量流量計（14.7 MPa max.） ・EP-TC-1000：コントロールバルブ（2.9 MPa max.） ・EP-TC-2000V：コントロールバルブ（9.8 MPa max.）
HM1000
汎用タイプ・コストエフェクティブな気体用熱式質量流量計およびコントロールバルブです。 圧力・温度の変化に影響されずに各種気体の質量流量を計測・制御します。
HM5000
高精度タイプ気体用熱式質量流量計およびコントローラで、圧力・温度の変化に影響されずに各種気体の質量流量を高精度に計測・制御します。 最小0 - 5 mL/min(nor) ～ 最大 0 - 400L/min(nor)のワイドな流量レンジに対応しています。
サーマルマスフローメータ〔全量通過式〕
TF-600
小形・軽量でコストエフェクティブな気体用熱式質量流量計です。
TF-600D/600V
TF-600形サーマルマスフローメータに視認性に優れたデジタル表示器を搭載し、アナログ/デジタ出力も可能な気体用熱式質量流量計です。 流量調節バルブ一体タイプもラインナップしています。
TF-900
シンプルコンセプトのコストエフェクティブな気体用熱式質量流量計です。
TF-1000
小口径～中口径のワイドなラインアップで、コストエフェクティブな気体用熱式質量流量計です。
TF-1161/1261
中口径で大流量に対応した気体用熱式質量流量計です。
TF-2000T
アルミハウジングコンバータを搭載したオールインワンタイプの気体用熱式質量流量計です。 小口径～中口径のワイドなラインアップ。
TF-2261T
サーマルマスフローメータ TF-2000Tの高流量タイプです。
TF-4000
コンパクトながら視認性に優れたデジタル表示器を内蔵し、アナログ/デジタル出力が可能な気体用熱式質量流量計です。
TF-4150/4160/4170
コストエフェクティブな高流量気体用熱式質量流量計です。 視認性に優れたデジタル表示器(固定形､回転形)を内蔵し､アナアログ/デジタル出力も装備しています。
サーマルマスフローコントローラ〔全量通過式〕
TC-3000
全量通過方式のサーマルマスフローメータとコントロールバルブを組み合わせた、コストエフェクティブなマスフローコントローラです。
TFシリーズ用コンバータユニット
TM3000
TFシリーズサーマルマスフローメータと組み合わせて使用する専用変換器です。 流量表示、積算パルス出力、警報出力機能、RS-485通信、メータ駆動用電源などを標準装備しています。
TCシリーズ用コンバータユニット
TM-1400
TCシリーズサーマルマスフローコントローラと組み合わせて使用する専用変換器です。 マスフローコントローラへの電源供給、瞬時流量のスケーリング表示、外部設定/マニュアル設定切換付の流量設定機能を備えています。
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