EP-TF-5300/EP-TC-1000/2000V

EP-TF-5300シリーズは耐圧防爆形・気体用熱式質量流量計です。各種ガスの質量流量を圧力、温度などプロセス条件に依存せず、計測することができます。
最小フルスケール5mL/min(nor)、最大フルスケール500L/min(nor)、最高使用圧力4.9MPaまでカバーするラインアップで幅広いアプリケーションに対応します。
また高圧用H-EP-TF-5300シリーズは最高使用圧力14.7MPaまで対応できます。

EP-TC-1000シリーズマスフローコントローラは耐圧防爆形コントロールバルブでEP-TF-5300シリーズ マスフローメータを流量計測器として組み合わせて使用します。最大100L/min(nor)、最高使用圧力2.9MPaまで広い制御差圧により各種気体の質量流量を高精度で自動的に制御します。

高圧用EP-TC-2000VシリーズはH-EP-TF-5300シリーズと組み合わせて使用します。最高使用圧力 9.8MPaまで対応可能です。