TC-1000/2000は熱式の気体用質量流量計とコントロールバルブを組み合わせたマスフローコントローラです。一般用TC-1000と高圧用TC-2000形があります。圧力・温度の変化に影響されない質量流量計測で各種気体の流量を高精度制御します。
TC-1000/2000
※記載事項は製品改良のため予告なく変更することがあります。
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