TF-4150/4160/4170

流量計測機器

熱式流量計

サーマルマスフローメータ / コントローラ〔全量通過式〕

TF-4150/4160/4170は、弊社のサーマル質量流量測定技術と豊富な経験を生かし開発した､ 大流量・高コストパフォーマンスタイプのサーマルマスフローメータです。主管部材質はアルミ合金とステンレスから選択可能です。低価格ながら視認性に優れたデジタル表示器(固定形､回転形)を内蔵し､アナアログ/デジタル 出力も装備しています。現場指示のほか遠隔指示も可能です。各種装置組み込み用に最適です。

カタログ・パンフレット

• TF-4150/4160/4170

  カタログPDF

※記載事項は製品改良のため予告なく変更することがあります。

特長

• 4000L/min(nor)、8000L/min(nor)、16000L/min(nor) の大流量タイプをシリーズ化
• 主管部は軽量なアルミ製､耐食性に優れたステンレス製が選択可能
• 主管部と一体形の構成でシンプルかつコンパクト化
• 温度､圧力変化に影響されない熱式質量流量測定方式
• デジタル表示付の一体形構造、認視性に優れたLED表示
• 表示部を流れの方向に合わせて回転可能（TF-4152-□□、TF-4162-□□）
• デジタル、アナログインターフェース付
• デジタル回路構成と校正システムの確立でコスト低減
• オープンコレクタ出力は、積算パルス・警報出力が選択可能
• 積算率・警報値の設定が可能、さまざまなアプリケーションへ対応可能
• 保護構造がIP64相当で、使用周囲環境条件を向上
• 90%応答が1秒以内の高速応答
• 電源はシーケンサに適合したDC12～２４V
• CEマーキングに対応

用途

• FPD製造装置
• 半導体製造装置
• 空調設備等の大流量ライン

標準仕様