TF-5000/6000シリーズは気体用熱式質量流量計で、各種ガスの質量流量を圧力・温度などプロセス条件に依存せず、計測することができます。 最小フルスケール5mL/min(nor)、最大フルスケール500L/min(nor)、最高使用圧力32MPa までをカバーするラインアップで幅広いアプリケーションに対応します。
TF-5000/6000 シリーズ
※記載事項は製品改良のため予告なく変更することがあります。
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