P-620

流量計測機器

パージメータ

その他ラインアップ

アクリル成型コンパクトタイプ。液体専用。コンパクトでも10L/minまで計測できます。フロースイッチとして広く使用されています。パネルに取り付けたままでメンテナンス可能です。

カタログ・パンフレット

※記載事項は製品改良のため予告なく変更することがあります。

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半導体製造装置冷却水ライン

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測定対象	液体全般
口径	Rc : 3/8"（標準） NPT : 3/8" SW : 3/8"
流量レンジ	水: 最大1 ～ 10 L/min 最小0.1 ～ 1 L/min ・流量目盛を選択の際は、標準流量表を参照
流体温度	最高60℃
流体圧力	1 MPa max.
プロセス接続	Rc、NPT、SW
測定精度	±10% F.S.

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