パージメータはガラスや樹脂製のテーパ管を用いた比較的小流量の液体および気体流量測定用の直示形小形面積流量計です。 さまざまな装置組み込みからプロセス用途まで幅広いラインアップでお応えします。 空気/不活性ガスパージ装置、分析計、半導体製造装置などへの組み込み、工業プロセスの小口径ラインなどに好適です。
ガラス管パージメータ
P-100
汎用タイプの小形面積流量計です。 コンパクトながら警報出力付きも選択でき、幅広い用途に対応しています。
P-200
汎用タイプの小形面積流量計です。 2点の警報出力付きが選択できます。幅広い用途に対応しています。
P-400
本体材質がオールステンレスで耐食性に優れています。
P-510
本体材質がオールステンレスで耐食性に優れています。 パージメータの中では最大の流量が計測可能です。
P-880
気体計測専用のガラス管パージメータです。 パージメータの中では微小流量の計測に特化しています。取り付け寸法のラインアップが多く設計の自由度を高めます。
XP
ポリアセタール（POM）本体を採用したコンパクトなパージメータです。 短納期でコストエフェクティブ。
樹脂製パージメータ
P-060
アクリルの一体成型品でローコストな樹脂製パージメータです。
フッ素樹脂製パージメータ
P-710
フッ素樹脂製で高い耐食性を実現しています。 腐食性のある薬液・溶剤に幅広くご使用いただけます。
P-530
取付寸法が150mmとコンパクトながら比較的大きい流量を計測可能です。
P-810
半導体製造プロセスの各種ガスの流量測定に最適。 外周シール採用で高信頼。各種装置で豊富な使用実績。 電解研磨処理、低リークの高品位タイプもあります。
P-820
各種半導体関連の装置に幅広く使用されています。 オプションでリードスイッチ警報出力やPAUオプティカルアラームユニットを搭載可能です。
P-830
流体温度最高130℃までカバーする耐熱性に優れたパージメータです。 オプションでリードスイッチ警報出力にも対応します。
P-850
取付寸法80mmのコンパクトなパージメータです。 各種装置の組込に最適です。
P-900
取付寸法114mm、224mmの汎用パージメータです。
P-010
取付寸法がP-100シリーズと同じ115mmのパージメータです。 使用流体を水・空気・窒素用に限定した汎用品でロット生産に対応します。 同一仕様、10 台以上ご検討の場合に最適です。
P-620
アクリル成型、液体専用の汎用パージメータです。 オプションでリードスイッチ警報が選択可能です。
P-771
液体専用でフッ素樹脂パージメータの中では小流量をカバーします。 純水、超純水、薬液の測定など半導体製造プロセス等で豊富な実績があります。 取付寸法80mmです。オプションでPAUアラームユニットを搭載可能です。
P-772
液体専用でフッ素樹脂パージメータの中では大流量をカバーします。 純水、超純水、薬液の測定など半導体製造プロセス等で豊富な実勢があります。 取付寸法150mmです。オプションでリードスイッチ警報、PAUアラームユニットを搭載可能です。
P-773
液体専用でフッ素樹脂パージメータの中では中流量をカバーします。 純水、超純水、薬液の測定など半導体製造プロセス等で豊富な実勢があります。 取付寸法115mmです。オプションでリードスイッチ警報、PAUアラームユニットを搭載可能です。
P-774
液体専用でフッ素樹脂パージメータの中では中流量をカバーします。 純水、超純水、薬液の測定など半導体製造プロセス等で豊富な実勢があります。 取付寸法100mmです。オプションでリードスイッチ警報を選択可能です。
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