P-774

流量計測機器
パージメータ
その他ラインアップ

P-774は東京計装のオールフッ素樹脂パージメータシリーズに新しく追加された面間100mmタイプのパージメータです。PFA一体形の本体・縦手部と溶接構造のシール部で抜群のクリーン度を確保します。

カタログ・パンフレット

※記載事項は製品改良のため予告なく変更することがあります。

主な用途

半導体製造ラインの超純水、薬液用

標準仕様

測定対象 液体全般
口径 φ10ピラー継手(スーパーフィッティング)
流量範囲
水: 
最大1 ~ 10 L/min
最小0.1 ~ 1 L/min
流体温度 最高60℃
流体圧力 0.5 MPa max.
プロセス接続 ピラー継手
測定精度 ±5% F.S.

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