P-820

流量計測機器

パージメータ

その他ラインアップ

P-810同様各種半導体装置に幅広く使用されています。リードスイッチタイプの警報接点付きも製作します。

カタログ・パンフレット

※記載事項は製品改良のため予告なく変更することがあります。

半導体製造装置用

測定対象	気体全般液体（水相当 : 密度1.0ｇ/ｃｍ³ 粘度1.0mPa・s のみ）
口径	Rc : 1/4"(標準)、1/8" NPT : 1/4"、1/8" SW : 1/4"、3/8" VCR : 1/4"、3/8"
流量レンジ	空気 P-821 : 最大 : 12 ～ 60 L/min（nor）最小 : 0.5 ～ 5 mL/min（nor） P-823 : 最大 : 6 ～ 60 L/min（nor）最小 : 5 ～ 50 mL/min（nor）水 P-821 : 最大 : 0.4 ～ 2 L/min 最小 : 5 ～ 50 mL/min P-823 : 最大 : 0.2 ～ 2 L/min 最小 : 5 ～ 50 mL/min ・流量範囲の換算方法は、P 形機能・選定について（TG-S0001)を参照
流体温度	最高120℃（パッキン材質によって異なる）
流体圧力	最高0.8 MPa
測定精度	P-823 : ±3% F.S. P-821 : ±5% F.S.

個人情報保護とCookieの使用について

このサイトは閲覧者の利便性向上のためクッキーを使用しています。
このサイトでの Cookieの利用目的と拒否について、「個人情報保護に関して」のページに記載しています。
「同意」をクリックされた場合は、当社のcookie利用にご同意いただいたものとみなします。