P-880

流量計測機器

パージメータ

標準タイプ

P-880は超微小流量の計測を可能とした気体計測用面積流量計です。また、従来製品のP-100/200/810/820 シリーズのバルブを精密に流量制御出来る様に改良いたしました。
超微小流量の計測・流量制御に適した流量計です。

カタログ・パンフレット

※記載事項は製品改良のため予告なく変更することがあります。

1) 機器組込み
2) バイオ産業
3) 半導体関連ガス機器

測定対象	気体全般
口径	Rc : 1/4"(標準)、1/8" NPT :1/4"、1/8" SW : 1/4"相当、3/8"相当 VCR : 1/4"相当、3/8"相当
流量レンジ	空気 : 最大 6 ～ 60 L/min（nor）最小 0.15 ～ 1.5 mL/min（nor）・流量範囲の換算方法は、P形機能・選定について(TG-S0001)を参照・流量目盛を選択の際は、標準流量表を参照
流体温度	最高 120℃ (パッキン材質によって異なる）
流体圧力	最高1MPa
プロセス接続	Rc、NPT、SW、VCR
測定精度	± 5 ％ F.S.

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