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FC-100シリーズは流量を測定する羽根車流量計に、流量制御用バルブを組み込んだ計測・制御動作部FCV-200と、流量信号を検出・演算して設定流量に制御するコントローラFCA-100で構成される水用流量コントロールユニットです。
流量計は軸流式羽根車流量計を採用し、配管に直結できるよう流量制御用バルブを組み込み、コンパクトな一体構造になっています。コントローラは流量計の信号を直接 受信して演算、制御信号に変換する機能を持ち、省スペース、耐ノイズ性能向上を実現しました。
半導体製造プロセスの冷却ラインやチラーユニット等の冷却水の流量管理に最適です。
形式 | FCV-202A-1/4 | FCV-202A-3/8 | FCV-205A-3/8 | FCV-210A-3/8 |
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測定対象 | 冷却水、または粘度2mPa・s以下の水相当で、接液材質を腐食させない液体 | |||
口径 | 1/4 | 3/8 | ||
流量レンジ | 0.4 ~ 2 L/min | 0.5 ~ 5 L/min | 1 ~ 10 L/min | |
流体温度 | 0 ~ 60℃ | |||
流体圧力 | 0.5MPa max. | |||
プロセス接続 | Rc1/4 | Rc3/8 | ||
測定精度 | ±3% F.S. |
入力 | 流量計 : オープンコレクタパルス |
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外部設定 : DC4 ~ 20mA、DC1 ~ 5V、DC0 ~ 10V マルチ対応 | |
表示 | 主要表示 : 5桁7セグメントLED |
状態表示 : 3点LED(警報 2点、制御 1点) | |
出力信号 | 流量信号 :
DC4 ~ 20mA、DC1 ~ 5V、DC0 ~ 10V 精度 : ±1%F.S. 応答速度 : 25ms以下 |
警報 : オープンコレクタ 2点 バルブ異常 : オープンコレクタ 1点 |
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操作部 | ボタン 4点(MODE、横移動、縦移動、ENT.) |
電源 | DC24V±10%、0.6A |
構造 | 操作パネル部 防滴構造 (IP54相当) |