純水/薬液装置用流量計・コントローラ

ガイド波式クランプオン超音波流量計

GST/SFC011GS

PFA小口径チューブ用のクランプオン超音波流量計です。
流量計取付けのためのチューブ切断・施工が不要で、既設のチューブに挟み込むだけで流量計測ができます。半導体製造装置など高いクリーン度の要求されるプロセスに最適です。
検出器は小形で、省スペースで装置搭載が可能。変換器はマルチチャンネル対応で、1台の変換器で最大6台までの検出器を接続できます。

クランプオン超音波流量計

UCL/SFC010C(1ch), SFC011C(6ch)

PFAチューブ用のクランプオン超音波流量計です。
小口径から1”までのチューブサイズに対応。流量計取付けのためのチューブ切断・施工が不要で、既設のチューブに挟み込むだけで流量計測ができます。半導体製造装置など高いクリーン度の要求されるプロセスに最適です。
変換器は1ch形およびマルチチャンネル形をラインナップ、1台の変換器で最大6台までの検出器を接続できます。

PFA一体形超音波流量計

UF

UFはストレートPFAチューブを採用した表示付きの変換器一体形超音波流量計です。
超純水、純水、水の流量管理用として広範囲のアプリケーションに対応します。

コンパクト超音波流量モニタ

UCF006

コンパクトな水用のPFA超音波流量モニタです。
流量測定部がストレート構造のため流体に含まれる気泡溜まりがなく、圧力損失もほとんどありません。
高いクリーン度の要求される半導体製造装置などの水流量測定に最適です。

バーグラフ表示超音波流量モニタ

UCM-04A/06A

純水、各種薬液などの流量を安定して計測できるバーグラフ表示付PFA超音波流量モニタです。検出器・変換器を一体形で小形化、省スペース化を実現、また前面の7 セグメントLEDとバーグラフにより流量表示されますので現場でも流量確認が可能です。

超音波流量計 検出器(サイズ：4 mm, 6 mm)

UCUF-E

小流量の超純水や各種薬液などの高精度計測用に設計されたPFA超音波流量計検出器で、SFC形変換器と組み合わせて使用します。接液部はすべてPFAで構成されており、可動部がなく、液溜まりを生じやすいＯリングなどの機械的シール部もありません。理想的なクリーン構造のため、半導体製造装置などの高いクリーン度が要求されるプロセスに最適な流量計です。

超音波流量計 検出器(サイズ：10 mm ～ 20mm)

UCUF-K

超純水や各種薬液などの高精度計測用に設計されたPFA超音波流量計検出器で、SFC形変換器と組み合わせて使用します。接液部はすべてPFAで構成されており、可動部がなく、液溜まりを生じやすいＯリングなどの機械的シール部もありません。理想的なクリーン構造のため、半導体製造装置などの高いクリーン度が要求されるプロセスに最適な流量計です。

DINレール取付形 超音波流量計 変換器

SFC3000

UCUF検出器と組み合わせて使用するDINレール取付形変換器です。 デジタル信号プロセッサ（DSP）等の最新の電子技術を採用し、半導体製造プロセスや薬液プロセス等で流体に含まれる気泡に対する影響を格段に軽減しました。

パネルマウント形 超音波流量計 変換器

SFC4000

UCUF検出器と組み合わせて使用するパネルマウント形変換器で、瞬時流量や積算流量、各種ステータスが表示できるほか、各種設定の確認・変更が可能です。デジタル信号プロセッサ（DSP）等の最新の電子技術を採用し、半導体製造プロセスや薬液プロセス等で流体に含まれる気泡に対する影響を格段に軽減しました。

液体微小流量用超音波流量計

UCUF-02M/SFC-010L

最小フルスケール流量 10 mL/minが設定可能な液体微小流量用PFA超音波流量計です。超純水や各種薬液などの微小流量を高精度で測定できます。

高温液体用小口径超音波流量計

UCUF-04MT/SFC-010T

流体温度180 ℃まで対応可能な高温液体用PFA超音波流量計です。
接液部は特殊グレードのPFAで構成され、純水や各種薬液などの高温流体を高精度で測定できます。

渦式フローセンサ〔PPS樹脂〕

VF-2000

ボディにPPS樹脂を採用したコストエフェクティブな液体用渦式フローセンサです。
接続サイズ：3/8" ～ 1/2"

渦式フローセンサ〔PPS樹脂〕

VF-2200

ボディにPPS樹脂を採用したコストエフェクティブな液体用渦式フローセンサです。
接続サイズ：25A (1")

渦式フローセンサ〔PPS樹脂〕

VF-2300

ボディにPPS樹脂を採用したコストエフェクティブな液体用渦式フローセンサです。
接続サイズ：32A (1-1/2")

渦式フローセンサ〔PFA〕

VF-3000

ボディにフッ素樹脂(PFA)を採用したクリーン構造の液体用渦式フローセンサです。
接続サイズ：3/8" ～ 1"

一体形流量コントローラ

CLFC300

流量検出にPFA製高精度超音波流量計を採用し、コントロール弁、制御回路部を一体化した流量コントローラです。純水、超純水、各種薬液、CMPスラリーなどの流量制御にご使用いただけます。

流量コントロールシステム

FC6000

PFA製UCUF形高精度超音波流量計、FCV形コントロール弁および超音波流量計用変換器搭載のFCA6000形コントローラで構成される分離形の流量コントローラです。超音波流量計検出器およびコントロール弁の選択により、広範囲の流量制御が可能です。純水、超純水、各種薬液、CMPスラリーなどの流量制御にご使用いただけます。

流量コントロールシステム

FC6500

FC6500は分離型の流量コントロールシステムです。各種センサからの流量信号をアナログ入力で取り込み、目標値で流量が一定になるようバルブが動作します。
FC6500シリーズは、接液部がオールフッ素樹脂性のコントロール弁と流量コントローラで構成されております。