SFC4000

流量計測機器

純水/薬液装置用流量計・コントローラ

超音波流量計（装置用）｜高精度タイプ

UCUFシリーズ超音波流量計は、超純水や各種薬液などの小流量測定用に設計された流量計です。
接液部はすべて特殊グレードのPFAの成形品で構成され、可動部がなく、液溜まりを生じやすいOリングなどの機械的シール部もありません。理想的なクリーン構造で、半導体装置などのクリーン度の要求されるプロセスに最適な流量計です。
SFC4000はUCUF形検出器用のパネルマウント形変換器です。 デジタルシグナルプロセッサ（DSP）等の最新電子技術を採用し、半導体プロセス・薬液プロセス等で問題があった流体に含まれる気泡に対する影響を格段に軽減しました。表示器を使用しながら通信を用いた集中管理が可能です。

カタログ・パンフレット

• SFC4000

  カタログPDF

※記載事項は製品改良のため予告なく変更することがあります。

特長

• 耐気泡性能の向上
  体中に気泡が含まれると超音波の伝播が阻害されて流量計測が不能になります。豊富なフィールド経験とDSP信号処理技術により、受信波形をチェックして気泡の影響を検知し、流量演算から除外して気泡の影響による異常出力の排除を実現しました。さらに超音波受信波形信号処理を見直し、従来機種と比較して耐気泡性能を向上させました。
• 表示付パネルマウントタイプ
  表示・設定機能を搭載。瞬時流量や積算流量、各種ステータスが表示できるほか、容易な操作で各種設定の確認・変更が可能です。
• 通信機能
  RS-485 MODBUS通信を標準搭載。通信を用いた流量監視・各種設定が可能です。
• 各種出力を選択可能
  瞬時流量のアナログ出力（形式により選択）
  瞬時流量の周波数出力または積算パルス出力
  瞬時流量警報と積算プリセット警報の混在使用可能（合計2点）
• 動粘度40mm²/sまでの高粘度流体の測定が可能
• 精度： UCUF形検出器との組合せにて
  指示値の±1%（流速1m/s以上において）
• CEマーキング

標準仕様