SFC3000

UCUFシリーズ超音波流量計は超純水や各種薬液などの小流量測定用に設計された流量計です。
接液部はすべて特殊グレードのPFAの成型品で構成され、可動部がなく、液溜まりを生じやすいOリングなどの機械的シール部もありません。理想的なクリーン構造のため半導体装置などのクリーン度の要求されるプロセスに最適な流量計です。
SFC3000はUCUF用の変換器で、デジタル信号プロセッサ（DSP）等の最新の電子技術を採用し、半導体プロセス、薬液プロセス等で問題であった流体に含まれる気泡に対する影響を格段に軽減したことを特徴としております。