UCUF-02M/SFC-010L

流量計測機器

純水/薬液装置用流量計・コントローラ

超音波流量計（装置用）｜微小流量タイプ

UCUF-02M/SFC-010Lは液体用超音波流量計です。 純水、超純水や各種薬液などの微小流量を高精度測定できます。 測定管路の口径は2.5 mm で、従来のUCUF 形超音波流量計では測定が難しかった微小流量域を広くカバーします。 接液部はすべて半導体産業向けPFAで構成され、可動部が全くなく、液溜まりを生じやすいシール部もない理想的なクリーン構造で、半導体製造装置などのクリーン度が要求されるプロセスに最適です。 流量計の入口、出口部は規格寸法のチューブになっており、各種PFA継手への接続が可能です。

カタログ・パンフレット

• UCUF-02M/SFC-010L

  カタログPDF

※記載事項は製品改良のため予告なく変更することがあります。

特長

• 小口径化
  この超音波流量計は、超音波の伝播計測が難しかった内径φ2.5 mmの管路で超音波の伝搬計測に成功しました。
• 微小流量
  最小フルスケール設定範囲 : 0 ～ 10 mL/min
• EMC 適合規格 : EN61326-1
• RoHS対応
• 動粘度40 mm²/sまでの高粘度流体の測定が可能
• 理想的なクリーン構造の検出器
• 腐食に強く、取付けが容易
• 精度 : 指示値の±1%以内（流量25 mL/min以上において）

主な用途

• 半導体製造プロセスの純水、超純水の流量測定
• 各種薬液注入プロセスの流量測定
• 高腐食性液体の流量測定
• CMP スラリー流量測定
• その他、小 ～ 中口径プロセス液体流量測定
• 洗浄装置、CMP 装置の流量計測・制御に最適

標準仕様

検出器仕様

変換器仕様