CLFC1000

流量計測機器

純水/薬液装置用流量計・コントローラ

流量コントローラ（装置用）｜一体形

CLFC1000 シリーズは、超音波流量計検出器、コントロール弁、流量演算とバルブ制御を担う回路部を小型ケースに収納した流量コントローラです。目標流量に極めて高速に追従させることが出来る制御機能を搭載しており、薬液の定量供給、純水の流量制御、スラリー流体の一定値制御など、半導体製造装置で求められる様々な液体の制御に対応します。

CLFC1000 製品紹介動画

カタログ・パンフレット

• CLFC1000シリーズ

  カタログPDF

※記載事項は製品改良のため予告なく変更することがあります。

特長

• 流量計測性能向上
  演算処理を改良し、気泡耐性をさらに向上。
  流量計測の安定性もさらに向上。
• 制御性向上
  最新の演算回路を採用し、制御性能を大幅に強化。
  従来のコントローラと比べて高速な制御を実現。
• 2種類のバルブタイプが選択可能
  ・ニードルバルブ：薬液や純水用に最適
  ・ピンチバルブ：スラリー流体に最適
• 小型軽量化
  超音波流量計検出器、コントロール弁、回路部を小型ケースに収納。装置内への取り付けにおいて、省スペース化が可能。従来品と比べて、約60％のコンパクト化を実現。コンパクト化により、重量も約50％削減。
• 省配線・配管設置
  設置時には、流体入口・出口の継手を接続し、電気配線を多芯ケーブルで接続するだけで完了。
• 環境対応
  RoHS2 に準拠した部品を使用。
  EMC 規格（EN IEC 61326-1、EN IEC 61326-2-3）に適合
• 高耐食性
  接液部には高耐食性材料であるPFA およびPTFE を採用。
  半導体産業や薬液を扱う様々な産業での使用に適しています。

主な用途

• 薬液や純水の供給流量の設定
  従来、定量ポンプやタンクの加圧によって制御していた薬液や純水の供給ラインにCLFC1000 を設置することで、高精度かつ安定した液体流量の制御が可能になります。
• 濃度管理
  薬液を純水等で希釈し、一定濃度に調整する際に薬液ラインと純水ラインの両方にCLFC1000 を設置することで、高度な濃度制御・濃度管理を実現します。
• スラリー流体の安定供給
  スラリー供給ラインにCLFC1000 を設置することで、スラリーの安定供給・定量供給が可能になり、使用液体の無駄を防ぎ、効率的な運用ができます。

標準仕様