UCUF-SB超音波流量計は、超純水や各種薬液などの小流量計測用に設計された流量計です。 接液部はすべて半導体産業向けのPFAで構成されており、可動部を持たず、 液だまりを生じやすいOリングなどの機械的シール部もありません。 そのため、半導体製造装置など、極めて高いクリーン度が要求されるプロセスに最適です。 SFC011SBはUCUFシリーズ用の変換器で、1台で最大6ラインの同時計測が可能です。 デジタル信号プロセッサ（DSP）をはじめとする最新の電子技術を採用しており、 半導体プロセスや薬液プロセスで問題となる液体中の気泡の影響を大幅に軽減しています。
UCUF-SB/SFC011SB
※記載事項は製品改良のため予告なく変更することがあります。
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