UCUF-E

流量計測機器

純水/薬液装置用流量計・コントローラ

超音波流量計（装置用）｜高精度タイプ

UCUF-Eシリーズ液体用超音波流量計は超純水や各種薬液などの小流量計測用に設計された流量計で、UCUF-E形検出器と、SFC形変換器で構成されます。
UCUF形検出器の接液部はすべて半導体産業向けPFAで構成され、可動部がなく、液溜まりを生じやすいＯリングなどの機械的シール部もありません。理想的なクリーン構造のため、半導体装置などの高いクリーン度が要求されるプロセスに最適な流量計です。
SFC形変換器は、半導体プロセス、薬液プロセス等で問題であった、流体に含まれる気泡に対する影響を格段に軽減しています。 各種薬液に対応するため流体動粘度影響をキャンセルする補正機能が搭載されています。RS485通信機能によるプロセスの集中管理が可能です（詳細は変換器テクニカルガイダンスを参照ください）。

カタログ・パンフレット

• UCUF-Eシリーズ

  カタログPDF

※記載事項は製品改良のため予告なく変更することがあります。

特長

• EMC 適合規格：EN61326-1 / EN61326-2-3
• RoHS2対応
• コネクタ構造の着脱式センサケーブルを採用
• 動粘度40 mm²/sまでの高粘度流体の測定が可能
• 精度は指示値の±1%以内（流速1 m/s以上において）
• 広いレンジアビリティ（100：1 代表値)
• 理想的なクリーン構造の検出器
• 腐食に強く、取付けが容易

主な用途

• 半導体製造プロセスの純水、超純水の流量測定
• 各種薬液注入プロセスの流量測定
• 高腐食性液体の流量測定
• CMP スラリー流量測定
• その他、小～中口径プロセス液体流量測定
• 洗浄装置、CMP 装置の流量計測・制御に最適

標準仕様

検出器仕様

対応変換器