VF-3000

流量計測機器

純水/薬液装置用流量計・コントローラ

渦式フローセンサ

VF3000フローセンサは、コストパフォーマンスに優れたPFA製渦式フローセンサです。
シンプル＆クリーンな構造で、半導体製造プロセスの超純水、水、低粘度薬液等の流量管理に最適です。
5種類の流量レンジに加え、電流出力タイプ、パルス出力タイプ、表示・警報・電流出力タイプをラインナップし、用途によりお選びいただけます。

カタログ・パンフレット

• VF-3000

  カタログPDF

※記載事項は製品改良のため予告なく変更することがあります。

特長

• 最小0.3 L/min、最大150 L/min までの流量域で測定が可能。
• クリーン構造 ボディにはNew PFA（420HP-J）を採用。 センサ部をOリングレス構造とした接液部オールPFAタイプ※をラインナップし、一層クリーン度が向上。 液溜まりも極めて少ない構造となっています。
• 高信頼の流量検出方式 実績のあるカルマン渦式を採用。可動部がなく、定期的な保守点検は必要ありません。 出力信号は体積流量に比例し、補正の必要はありません。
• シンプルな構造で低圧力損失 流路には渦発生体と渦検出体があるだけのシンプルな構造で、低圧力損失です。
• 超小形･軽量 従来の流量計の概念を打ち破る超小形･軽量設計のフローセンサです。
• CE マーキング付
• 3つのタイプをラインナップ 用途に合わせて機能を選択できます。 表示・電流出力タイプ DC4 ～ 20mA 出力（3 線式）、LED 瞬時流量表示、警報出力2点（オープンコレクタ） 電流出力タイプ DC4 ～ 20mA 出力（3 線式） パルス出力タイプ オープンコレクタ出力（アンスケールドパルス）

※オールPFA タイプは、流量レンジ2.5 L/min、4 L/min および150 L/min モデルが対応。

標準仕様