UCF006はコンパクトモデルの超音波流量モニタです。 流量測定部をストレート構造にすることで、半導体プロセスにおいて問題であった流体に含まれる気泡に対する影響を格段に軽減したことを特徴としております。 また、ストレート管路のため、圧力損失がほとんど無く、ラインの圧力低下を軽減できます。 さらに時間分解能の向上と信号処理の高速化により従来製品と比較して低流量域で計測の安定度が向上しました。 半導体製造装置などのクリーン度の要求されるプロセスに最適です。
UCF006
※記載事項は製品改良のため予告なく変更することがあります。
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