FC6500

FC6500は分離型の流量コントロールシステムです。
各種センサからの流量信号をアナログ入力で取り込み、目標値で流量が一定になるようバルブが動作します。FC6500シリーズは、接液部がオールフッ素樹脂性のコントロール弁と流量コントローラで構成されております。

• 流量コントロール弁：FCVシリーズ
• 流量コントローラ：FCA6500シリーズ

コントロール弁のラインナップの充実により広範囲の流量制御が可能です。また、コントロール弁と制御部を分離することで、安全性を向上し、自由なレイアウトを可能としています。半導体プロセスをはじめとする各種薬液、純水のプロセス管理等に最適です。
また、流量だけでなく制御対象を流量コントロール弁とした温度制御、圧力制御のコントロールシステムとしてもご使用いただけます。