お問い合わせ


流量
パージメータP-520

P-520

P-520カタログPDF

製品ご選定のアドバイスカタログPDF

※記載事項は製品改良のため予告なく変更することがあります。

樹脂製本体でプロセスへの金属イオンの混入を低減しました。半導体製造プロセスの純水、超純水の計測に適します。警報接点付も対応します。

主な用途

純水ライン用


標準仕様

測定流体 液体全般
流量範囲 最小1 ~ 10 L/min
最大12 ~ 60 L/min
・流量目盛を選択の際は、標準流量表を参照
目盛範囲 10 : 1(一部10 : 2となります)
指示精度 ±5% F.S.
流体圧力 最高0.5MPa
流体温度 最高80℃ ( 本体、パッキン材質によって異なる)
材質 本体接液部 PVC(最高60℃), 耐熱PVC(最高80℃), PTFE(最高80℃)
テーパ管 耐熱ガラス
パッキン フッ素ゴム
エチレンプロピレンゴム(EPDM)(最高80℃)
・各パッキン材質の最高流体温度は、一般的なデー
タであり、使用条件や環境によって変わることがあり
ます。
本体サポート SUS304
カバー 透明PVC
接続規格/ 口径 Rc : 1/2"( 標準), 3/4", 1"
NPT : 1/2", 3/4", 1"
取付方法 パネルの前面ねじ取付(標準)
パネル埋込取付
質量 約1.2kg