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流量パージメータP-520

パージメータ P-520

P-520カタログPDF

製品ご選定のアドバイスカタログPDF

※記載事項は製品改良のため予告なく変更することがあります。

樹脂製本体でプロセスへの金属イオンの混入を低減しました。半導体製造プロセスの純水、超純水の計測に適します。警報接点付も対応します。

主な用途

純水ライン用

標準仕様

測定対象 液体全般
口径 1/2、3/4、1
流量レンジ 最大:12 ~ 60 L/min
最小:1 ~ 10 L/min
流体温度 80°C max.
流体圧力 0.5MPa max.
プロセス接続 Rc、NPT
測定精度 ±5% F.S.