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流量大流量タイプサーマルマスフローメータTF-4150/4160/4170

大流量タイプサーマルマスフローメータ TF-4150/4160/4170

TF-4150/4160/4170カタログPDF

※記載事項は製品改良のため予告なく変更することがあります。

TF-4150/4160/4170は、弊社のサーマル質量流量測定技術と豊富な経験を生かし開発した､ 大流量・高コストパフォーマンスタイプのサーマルマスフローメータです。主管部材質はアルミ合金とステンレスから選択可能です。低価格ながら視認性に優れたデジタル表示器(固定形､回転形)を内蔵し､アナアログ/デジタル 出力も装備しています。現場指示のほか遠隔指示も可能です。各種装置組み込み用に最適です。

特　長

  • · 4000L/min(nor)、8000L/min(nor)、16000L/min(nor) の大流量タイプをシリーズ化
  • · 主管部は軽量なアルミ製､耐食性に優れたステンレス製が選択可能
  • · 主管部と一体形の構成でシンプルかつコンパクト化
  • · 温度､圧力変化に影響されない熱式質量流量測定方式
  • · デジタル表示付の一体形構造、認視性に優れたLED表示
  • · 表示部を流れの方向に合わせて回転可能（TF-4152-□□、TF-4162-□□）
  • · デジタル、アナログインターフェース付
  • · デジタル回路構成と校正システムの確立でコスト低減
  • · オープンコレクタ出力は、積算パルス・警報出力が選択可能
  • · 積算率・警報値の設定が可能、さまざまなアプリケーションへ対応可能
  • · 保護構造がIP64相当で、使用周囲環境条件を向上
  • · 90%応答が1秒以内の高速応答
  • · 電源はシーケンサに適合したDC12～２４V
  • · CEマーキングに対応

用　途

  • · FPD製造装置
  • · 半導体製造装置
  • · 空調設備等の大流量ライン

主な仕様

測定対象 空気、窒素
口径 25A ～ 50A
流量レンジ 0 ～ 16,000 L/min(nor) /口径50A
流体温度 0 ～ 60℃
流体圧力 1.0MPa max.
プロセス接続 Rc1、Rc1-1/2、Rc2
測定精度 ±2.0 % F.S.