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流量サーマルフローメータSRT1000シリーズ

サーマルフローメータ SRT1000シリーズ

SRT1000シリーズカタログPDF

※記載事項は製品改良のため予告なく変更することがあります。

SRT1000 シリーズは東京計装が長年培った熱式流量計のノウハウを踏襲し、Reading精度、オールメタルシール、デジタル出力など性能を向上させ10A ~ 1500A を標準ラインアップし、流量表示一体型、分離型を選べる気体用流量計です。 アナログ出力はDC 4-20mA、DC 0-5V、DC 0-10V から選択、パルス出力、警報出力(H,L)、デジタル出力RS485 を標準装備致しました。 また、従来のサーマルフローメータよりも流量レンジをアップさせています。

特 長

  • · 高精度

    独自の校正設備により流量を±1% R.D.(10 ~ 100% F.S.) ±0.5% F.S.(10% F.S. 未満)で計測。(弊社校正条件にて)

  • · オールメタルシール可能

    検出器にはメタルシール構造、耐食性に優れている

  • · 低圧力損失

    流路にはステンレス製のセンサが有るだけで、圧力損失は殆どありません。

  • · 高速応答

    1 秒以下(63% ステップ応答)

  • · 流体温度の表示

    センサは加熱センサと温度センサで構成されているためガス温度を正確に測定、表示できます。

  • · 圧力補正機能付き

    DC 4-20 mA 出力付き圧力信号にて、圧力補正を行い圧力影響を受けない流量計計測が可能

  • · 流量単位

    ノルマル(0℃、1 atm)、スタンダード、状況下流量および質量流量など単位が豊富です。

  • · RoHS 対応、CE マーキング対応(予定)

主な用途

  • · 半導体製造設備ガスライン
  • · 医療用酸素供給ライン、システム
  • · 空調設備
  • · 一般工業プロセス、ユーティリティライン

ラインアップと概略仕様

特長・タイプ 配管挿入形タイプ(大口径)
表示一体型/表示分離型
配管一体形タイプ(中口径)
表示一体型/表示分離型
配管一体形タイプ(小口径)
表示一体型/表示分離型
挿入長可変タイプ 表示一体型/表示分離型
形式 SRT1100 SRT1200 SRT1300 SRT1400
外観 サーマルフローメータ SRT1100サーマルフローメータ SRT1100 サーマルフローメータ SRT1200 サーマルフローメータ SRT1300サーマルフローメータ SRT1300 サーマルフローメータ SRT1400サーマルフローメータ SRT1400
測定対象 気体全般(腐食性ガスを除く)
プロセス接続 フランジ : JIS 10K/20K、ANSI クラス150/300、JPI クラス150/300
チューブ継手(挿入形) : O.D.φ20 mm
SWL/VCR/Rc : 3/8"、1/2"、3/4"、1"
ウェハー : 40A ~ 150A
配管口径 50A ~ 1500A 40A ~ 150A 10A ~ 25A 50A ~ 900A
温度 -20 ~ 120℃
最高使用圧力 1 MPa max.
流量レンジ Air/N₂
最大:35600 ~ 891700 m³/h(nor)
最小:63 ~ 1200 m³/h(nor)
Air/N₂
最大:425 ~ 10600 m³/h(nor)
最小:50 ~ 780m³/h(nor)
Air/N₂
最大:33 ~ 330 m³/h(nor)
最小:6.0 ~ 60 m³/h(nor)
Air/N₂
最大:12840 ~ 321000 m³/h(nor)
最小:63 ~ 1200 m³/h(nor)
接ガス材質 SUS316L、SUS316、SCS14
センサー部はSUS316L
電源 DC 24 V ±10%
保護等級 IP65相当