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流量ミニホイールフローメータW-800

ミニホイールフローメータ W800

W-800カタログPDF

※記載事項は製品改良のため予告なく変更することがあります。

W-800シリーズミニホイールフローメータはオプティカルセンシング方式を採用した液体用の羽根車流量計です。
接液部はフッ素樹脂系などの完全非金属で構成され、半導体プロセスにおける純水、超純水、薬液等の流量計測に最適です

特 長

  • · 光電センサーにより羽根車回転数を検出し流量計測
  • · フッ素樹脂系本体をベースにその他接液部の材質選択
  • · 純水、超純水、薬液等に対応
  • · 最小レンジ : 0.04 ~ 0.2 L/min、最大レンジ : 5 ~ 50 L/min
  • · チューブエンド接続またはRc ねじ接続
  • · RoHS 対応

主な仕様

測定流体 各種液体(粘度2mPa・s 以下で透過性のある液体)
流量レンジ 最小 5 ~ 50/min
最大 0.04 ~ 0.2L/min
流体圧力 最大 0.29MPa
流体温度 最大50℃ (結露、凍結なきこと)
標準材質 管路本体、羽根車ホルダ : PFA
羽根車 : PTFE
軸 : 石英ガラス(オプションサファイア)
Oリング : EPDM (オプション : FKM、FFKM)
プロセス接続 Rc1/4、3/8、1/2、3/4ねじ、1/4"、3/8"、1/2"、3/4" チューブ
出力 オープンコレクタパルス(アンスケールド)
精度 ±5% F.S.(流量レンジ 0.5 ~ 5L/min以下)
±3% F.S.(流量レンジ 1 ~ 10L/min以上)
電源 DC12 ~ 24V±10%