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W-800シリーズミニホイールフローメータはオプティカルセンシング方式を採用した液体用の羽根車流量計です。
接液部はフッ素樹脂系などの完全非金属で構成され、半導体プロセスにおける純水、超純水、薬液等の流量計測に最適です
測定流体 | 各種液体(粘度2mPa・s 以下で透過性のある液体) |
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口径 | 1/4 ~ 3/4 |
流量レンジ | 最大 5 ~ 50L/min 最小 0.04 ~ 0.2L/min |
流体温度 | 最大50℃ (結露、凍結なきこと) |
流体圧力 | 0.29MPa max. |
プロセス接続 | Rcねじ、チューブエンド |
測定精度 | ±5% F.S. (W-811.812.813.814.815) ±3% F.S. (W-816.817.818.819.810) |