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流量13. 渦式フローセンサ・渦流量計

渦式フローセンサ・渦流量計

カルマン渦原理の流量計です。
半導体プロセス・装置向けのPFAモデルから、一般プロセス用までラインアップ。

フローセンサ

渦流量計