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VF3000フローセンサは、コストパフォーマンスに優れたPFA製渦式フローセンサです。
シンプル&クリーンな構造で、半導体製造プロセスの超純水、水、低粘度薬液等の流量管理に最適です。
5種類の流量レンジに加え、電流出力タイプ、パルス出力タイプ、表示・警報・電流出力タイプをラインナップし、用途によりお選びいただけます。
測定対象 | 超純水、純水、水、低粘度薬液 |
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口径 | 3/8" ~ 1" |
流量レンジ | VF-30□0 0.3 ~ 2.5L/min VF-30□1 0.5 ~ 4L/min VF-30□2 2 ~ 16L/min VF-30□3 4 ~ 40L/min VF-30□5 15 ~ 150L/min |
流体温度 | 0 ~ 90℃ |
流体圧力 | 0 ~ 0.5 MPa |
プロセス接続 | PFA チューブエンド または 各種PFA継手 |
測定精度 | ±3% F.S. |