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流量流量コントロールシステムFC6500NEW

流量コントロールシステム FC6500

FC6500カタログPDF

※記載事項は製品改良のため予告なく変更することがあります。

FC6500は分離型の流量コントロールシステムです。
各種センサからの流量信号をアナログ入力で取り込み、目標値で流量が一定になるようバルブが動作します。FC6500シリーズは、接液部がオールフッ素樹脂性のコントロール弁と流量コントローラで構成されております。

 · 流量コントロール弁：FCVシリーズ
 · 流量コントローラ：FCA6500シリーズ

コントロール弁のラインナップの充実により広範囲の流量制御が可能です。また、コントロール弁と制御部を分離することで、安全性を向上し、自由なレイアウトを可能としています。半導体プロセスをはじめとする各種薬液、純水のプロセス管理等に最適です。
また、流量だけでなく制御対象を流量コントロール弁とした温度制御、圧力制御のコントロールシステムとしてもご使用いただけます。

特　長

  • · 安全性の向上、自由なレイアウトが可能

    プロセス接続部の流量センサ・コントロール弁と計測制御部を分離することで液漏れなどに対する安全性が向上し、レイアウトも自由に選べます。

  • · 広範囲の流量制御が可能

    FCVシリーズは最小10〜100mL/min から最大1〜10L/minの流量範囲で制御できるコントロール弁をご用意しております。

  • · CEマーキング

    EU EMC、RoHS2、低電圧指令に対応
    (EMC 適合規格：EN61326-1:2013、EN61326-2-3:2013)

主な仕様

コントロール弁

形式 FCV-1000S FCV-3000
口径 Φ3/8”、Φ1/2” Φ1/4”
流量レンジ 最大 10 L/min
最小 200 mL/min		 最大 2 L/min
最小 2.5 mL/min
流体温度 5 ～ 50 ℃
流体圧力 0.3 MPa
プロセス接続 PTFE、PFAチューブエンド

コントローラ

形式 FCA6510 FCA6520 FCA6530
アナログ入力
(現在流量)		 DC4–20mA
入力インピーダンス：250Ω		 DC0–10V
入力インピーダンス：730kΩ		 DC4–20mA
入力インピーダンス：250Ω
デジタル入力
(制御切替)		 無電圧接点入力
短絡時ON：制御開始、解放時OFF：制御停止
アナログ出力
(流量再出力)		 DC1–5V
許容負荷抵抗：500kΩ以上		 DC0–10V
許容負荷抵抗：500kΩ以上		 DC4–20mA
許容負荷抵抗：500Ω以内
デジタル出力
(警報)		 トランジスタ接点出力（定格：DC30V，50mA）
論理：A 接点（NO）／ B 接点（NC）　メーカ設定
制御精度 現在流量（PV）> 30%FS：目標流量（SP）の±3%
現在流量（PV）≦ 30%FS：目標流量（SP）の±5%

応答時間　3 秒以内
※ 検出器からのアナログ入力が遅延なく更新されること
表示 バックライト付16 文字・2 段LCD (液晶表示)
警報表示：赤色LED×1
動作表示：緑色LED×1
構造/取付 屋内配線 (IP20相当) / パネル取付
電源 DC24V ±10%