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流量10. 超音波流量計(装置用)

超音波流量計(装置用)

超純水や各種薬液などの液体小流量を無可動部・センサ非接液で測定できるフッ素樹脂製の超音波流量計です。
半導体製造関連装置、薬液装置、超純水装置などへの組み込みに好適です。

クランプオンタイプ

ガイド波式クランプオン超音波流量計
GST/SFC011GS

PFA小口径チューブ用のクランプオン超音波流量計です。
流量計取付けのためのチューブ切断・施工が不要で、既設のチューブに挟み込むだけで流量計測ができます。半導体製造装置など高いクリーン度の要求されるプロセスに最適です。
検出器は小形で、省スペースで装置搭載が可能。変換器はマルチチャンネル対応で、1台の変換器で最大6台までの検出器を接続できます。

製品スペック
測定対象 純水、
フォトレジスト、
Low-K材、
シンナー
流量範囲 最大 0 ~ 2.0 L/min
最小 0 ~ 0.5 L/min
流体温度 常温
(温度変化 ±0.5 ℃)
適合チューブ
サイズ
PFA
1/8”, 1/4”,
4 mm, 5 mm, 6 mm
流体圧力 0.5 MPa max. 精度 ±2 % R.D
(> 0.8 L/min)
電源 DC 24 V ±10 % 変換器取付 DINレール
クランプオン超音波流量計
UCL/SFC010C(1ch), SFC011C(6ch)

PFAチューブ用のクランプオン超音波流量計です。
小口径から1”までのチューブサイズに対応。流量計取付けのためのチューブ切断・施工が不要で、既設のチューブに挟み込むだけで流量計測ができます。半導体製造装置など高いクリーン度の要求されるプロセスに最適です。
変換器は1ch形およびマルチチャンネル形をラインナップ、1台の変換器で最大6台までの検出器を接続できます。

製品スペック
測定対象 液体全般 流量範囲 最大 0 ~ 80 L/min
最小 0 ~ 3 L/min
流体温度 10 ~ 60 ℃ 適合チューブ
サイズ
PFA
6 mm, 8 mm, 10 mm,
6.35 mm, 9.53 mm,
12.70 mm, 19.05 mm,
25.40 mm
流体圧力 0.5 MPa max. 精度 ±2 % R.D
(> 0.8 L/min)
電源 DC 24 V ±10 % 変換器取付 DINレール

フローモニタ

PFA一体形超音波流量計
UFNEW

UFはストレートPFAチューブを採用した表示付きの変換器一体形超音波流量計です。超純水、純水、水の流量管理用として広範囲のアプリケーションに対応します。

製品スペック
測定対象 超純水、純水、水 流量範囲 最大 0 ~ 150 L/min
最小 0 ~ 20 L/min
流体温度 10 ~ 90 ℃ サイズ 1/2", 3/4", 1"
流体圧力 0.5 MPa max. 精度 ±2 % F.S.
(1 digit)
電源 DC 24 V ±10 %
コンパクト超音波流量モニタ
UCF006

コンパクトな水用のPFA超音波流量モニタです。
流量測定部がストレート構造のため流体に含まれる気泡溜まりがなく、圧力損失もほとんどありません。
高いクリーン度の要求される半導体製造装置などの水流量測定に最適です。

製品スペック
測定対象 純水、水 流量範囲 0 ~ 8 L/min
流体温度 10 ~ 80 ℃ サイズ 6 mm
流体圧力 0.5 MPa max. 精度 ±2 % R.D
(> 1.7 L/min)
電源 DC 24 V ±10 %
バーグラフ表示超音波流量モニタ
UCM-04A/06A

純水、各種薬液などの流量を安定して計測できるバーグラフ表示付PFA超音波流量モニタです。検出器・変換器を一体形で小形化、省スペース化を実現、また前面の7 セグメントLEDとバーグラフにより流量表示されますので現場でも流量確認が可能です。

製品スペック
測定対象 液体全般
(気泡を含まない液体)
流量範囲 最大 0 ~ 8 L/min
最小 0 ~ 0.2 L/min
流体温度 10 ~ 60 ℃ サイズ UCM-04A:4 mm
UCM-06A:6 mm
流体圧力 0.4 MPa max. 精度 ±1 % F.S.
電源 DC 24 V ±10 %

高精度タイプ

超音波流量計 検出器(サイズ:4 mm, 6 mm)
UCUF-Eシリーズ

小流量の超純水や各種薬液などの高精度計測用に設計されたPFA超音波流量計検出器で、SFC形変換器と組み合わせて使用します。接液部はすべてPFAで構成されており、可動部がなく、液溜まりを生じやすいOリングなどの機械的シール部もありません。理想的なクリーン構造のため、半導体製造装置などの高いクリーン度が要求されるプロセスに最適な流量計です。

製品スペック
測定対象 液体全般 流量範囲 最大 0 ~ 8 L/min
最小 0 ~ 50 mL/min
流体温度 10 ~ 60 ℃ サイズ 4 mm, 6 mm
流体圧力 0.5 MPa max. 精度 ±1 % R.D.(流速 ≧ 1 m/s)
超音波流量計 検出器(サイズ:10 mm ~ 20mm)
UCUF-Kシリーズ

超純水や各種薬液などの高精度計測用に設計されたPFA超音波流量計検出器で、SFC形変換器と組み合わせて使用します。接液部はすべてPFAで構成されており、可動部がなく、液溜まりを生じやすいOリングなどの機械的シール部もありません。理想的なクリーン構造のため、半導体製造装置などの高いクリーン度が要求されるプロセスに最適な流量計です。

製品スペック
測定対象 液体全般 流量範囲 最大 0 ~ 80 L/min
最小 0 ~ 1 L/min
流体温度 10 ~ 60 ℃ サイズ 標準:10mm, 15mm, 20mm
流体圧力 0.5 MPa max. 精度 ±1 % R.D.(流速 ≧ 1 m/s)
DINレール取付形 超音波流量計 変換器
SFC3000

UCUF検出器と組み合わせて使用するDINレール取付形変換器です。 デジタル信号プロセッサ(DSP)等の最新の電子技術を採用し、半導体製造プロセスや薬液プロセス等で流体に含まれる気泡に対する影響を格段に軽減しました。

製品スペック
出力 パルス・警報・電流 通信機能 RS485 通信
電源 DC 24 V ±10 % 材質 ABS樹脂
周囲温度 0 ~ 60 ℃ 取付 DINレール
パネルマウント形 超音波流量計 変換器
SFC4000

UCUF検出器と組み合わせて使用するパネルマウント形変換器で、瞬時流量や積算流量、各種ステータスが表示できるほか、各種設定の確認・変更が可能です。デジタル信号プロセッサ(DSP)等の最新の電子技術を採用し、半導体製造プロセスや薬液プロセス等で流体に含まれる気泡に対する影響を格段に軽減しました。

製品スペック
出力 パルス・警報・電流 通信機能 RS485 通信
表示 バックライト付LCD 電源 DC 24 V ±10 %
材質 ABS樹脂 周囲温度 0 ~ 50 ℃
取付 パネルマウント

微小流量タイプ

液体微小流量用超音波流量計
UCUF-02M/SFC-010L

最小フルスケール流量 10 mL/minが設定可能な液体微小流量用PFA超音波流量計です。超純水や各種薬液などの微小流量を高精度で測定できます。

製品スペック
測定対象 液体全般 流量範囲 最大 0 ~ 100 L/min
最小 0 ~ 10 mL/min
流体温度 10 ~ 90 ℃ サイズ 2.5 mm
流体圧力 0.5 MPa max. 精度 ±1 % R.D(≧ 25 mL/min)
出力 パルス・警報・電流 表示 4桁LED(瞬時流量%)
電源 DC 24 V ±10 % 変換器取付 DINレール

高温タイプ

高温液体用小口径超音波流量計
UCUF-04MT/SFC-010T

流体温度180 ℃まで対応可能な高温液体用PFA超音波流量計です。
接液部は特殊グレードのPFAで構成され、純水や各種薬液などの高温流体を高精度で測定できます。

製品スペック
測定対象 液体全般 流量範囲 最大 0.8 ~ 2.0 L/min
最小 0.1 ~ 0.8 L/min
流体温度 10 ~ 180 ℃ サイズ 4 mm
流体圧力 0.5 MPa max.
(流体温度 < 120 ℃)
精度 ±1 % R.D
(流速 ≧ 1 m/s 以上)
出力 パルス・警報・電流 表示 4桁LED(瞬時流量%)
電源 DC 24 V ±10 % 変換器取付 DINレール