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流量UCUF液体用小口径超音波流量計用変換器SFC017

UCUF液体用小口径超音波流量計用変換器 SFC017

SFC017カタログPDF

※記載事項は製品改良のため予告なく変更することがあります。

UCUFシリーズ超音波流量計は超純水や各種薬液などの小流量測定用に設計された流量計です。
接液部はすべて特殊グレードのPFAの成型品で構成され、稼動部がなく、液溜まりを生じやすいOリングなどの機械的シール部もありません。
理想的なクリーン構造のため半導体装置などのクリーン度の要求されるプロセスに最適な流量計です。
SFC017はUCUF用の変換器で、デジタル信号プロセッサ(DSP)等の最新の電子技術を採用し、半導体プロセス、薬液プロセス等で問題であった流体に含まれる気泡に対する影響を格段に軽減したことを特徴としております。
さらに時間分解能の向上と信号処理の高速化により従来製品と比較して低流量域で測定の安定度が向上しました。

特 長

  • · 耐気泡性能を大幅に改善

    流体中に気泡が含まれると超音波の伝播が阻害されて流量測定が不能になります。
    豊富なフィールド経験とDSP信号処理技術により、受信波形をチェックして気泡の影響を検知し、流量計算から除外し気泡の影響による異常出力を排除することに成功しました。

  • · コンパクト

    検出器・変換器分離型で、軽量コンパクト
    変換器は配線工事がしやすいプラグイン構造

  • · 同軸コネクタ

    汎用性の高いBNCコネクタを採用し、従来製品との互換性を図りました。

  • · EEMC 適合規格:EN61326-1 :2006

  • · 鉛フリー対応

  • · ゼロチェック機能

    測定前にゼロチェックを行うことで測定流体に対して最適な条件で測定を開始できます。

  • · 動粘度40mm²/s までの高粘度流体の測定が可能

  • · 理想的なクリーン構造の検出器

  • · 精度:指示値の± 1% 以内(流速1m/s 以上において)

  • · 豊富な機能

    瞬時流量警報出力またはFAULT 出力
    瞬時流量の各種アナログ出力(形式により選択)

  • · 容易な操作で被測定液に合わせたパラメータの設定が可能

主な用途

  • · 半導体、液晶ウェットプロセスの純水、超純水ライン
  • · CMP (Chemical Mechanical Polishing) スラリ液
  • · 各種薬液注入ライン
  • · 高腐食性液体ライン
  • · その他微小流量ライン

主な仕様

検出器UCUF-P 仕様

形式 SFC017
適合検出器 UCUF-04MB、UCUF-04K、UCUF-06K
測定対象 液体全般
流体温度 10 ~ 60℃(60℃以上は別途ご相談)
流体の音速 1000 ~ 2200m/s
流体の動粘度 0.3 ~ 40mm²/s
流量範囲 最小 : 0 ~ 0.05 L/min、最大 : 0 ~ 8.0 L/min
入力 センサ信号 : 専用ケーブル(BNCコネクタ)
パルス出力 周波数パルス出力またはFAULT出力を選択可能

・周波数パルス出力
オープンコレクタパルス
負荷定格 : DC30V、15mA以内
パルス幅 : デューティ1 : 1
パルスレート : 0 ~ 1000Hz(フルスケール)

・FAULT出力(変換器、検出器の異常時に出力)
オープンコレクタパルス
負荷定格 : DC30V、15mA以内
警報出力 上限および下限警報(2点)
オープンコレクタパルス
負荷定格 : DC30V、15mA以内
電流出力 DC4 ~ 20mA
負荷抵抗 : 500Ω以内
ローカットオフ 0 ~ 25% F.S.
リニアライザ パラメータ設定による自動補正、手動リニアライザも付加可能(最大20点、折れ線近似方式)
通信 RS485通信機能搭載、プロトコル : MODBUS (最大32台接続可)
電源 DC 24V ± 10%、消費電流 110mA以下
構造 IP20(屋内仕様)
設置 DINレール取り付け