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流量液体用省スペース超音波流量計UCUF-Mシリーズ

液体用省スペース超音波流量計 UCUF-M シリーズ

UCUF-M シリーズカタログPDF

※記載事項は製品改良のため予告なく変更することがあります。

UCUF-Mシリーズ液体用超音波流量計は超純水や各種薬液などの小流量計測用に設計された流量計で、UCUF-M形検出器と、SFC形変換器で構成されます。 UCUF形検出器の接液部はすべて半導体産業向けPFAで構成され、稼動部がなく、液溜まりを生じやすいOリングなどの機械的シール部もありません。 理想的なクリーン構造のため半導体装置などのクリーン度の要求されるプロセスに最適な流量計です。 SFC形変換器は、半導体プロセス、薬液プロセス等で問題であった流体に含まれる気泡に対する影響を格段に軽減しています。 各種薬液に対応するため流体動粘度影響をキャンセルする補正機能が搭載されています。 DINレール取付タイプでは省スペース化に最適です。 RS485通信機能によるプロセスの集中管理が可能です。(詳細は変換器テクニカルガイダンスを参照ください。)

特 長

  • · EMC 適合規格 : EN61326-1
  • · RoHS対応
  • · 接続チューブピッチ80 mmに統一
  • · 動粘度40 mm²/sまでの高粘度流体の測定が可能
  • · 精度は指示値の±1%以内(流速1 m/s以上において)
  • · 広いレンジアビリディ(代表値 100 : 1)
  • · 理想的なクリーン構造の検出器
  • · 腐食に強く、取付けが容易

主な用途

  • · 半導体製造プロセスの純水、超純水の流量測定
  • · 各種薬液注入プロセスの流量測定
  • · 高腐食性液体の流量測定
  • · CMP スラリー流量測定
  • · その他、小 ~ 中口径プロセス液体流量測定
  • · 洗浄装置、CMP 装置の流量計測・制御に最適

主な仕様

検出器仕様

測定対象 液体全般(気泡を含まない液体およびPFAを透過または侵食しないこと)
公称口径 2.5、4(接続1/4”)、4(接続3/8”)、6、10、15、20mm
流量レンジ 最大 0 ~ 80 L/min
最小 0 ~ 0.01 L/min
測定精度 指示値の±1.0% (流速1m/s以上)
 最大18.8 ~ 80L/min
 最小0.025 ~ 0.1L/min
流速 1m/s未満の精度については、カタログPDFをご参照下さい。
 最大0 ~ 18.8L/min
 最小0 ~ 0.025L/min
流体温度 10 ~ 90℃
流体圧力 0 ~ 0.5 MPa
音速範囲 1000 ~ 2200 m/s
流体動粘度 0.8 ~ 40 mm²/s
接液部材質 PFA
プロセス接続 PFAチューブエンド
専用ケーブル
同軸ケーブル2 本付属、ケーブル長5 m(最大30 mまで延長ケーブルで対応可能)
コネクタタイプ SMB、BNC
構造 IP65