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流量液体用省スペース超音波流量計UCUF-Kシリーズ

液体用省スペース超音波流量計 UCUF-Kシリーズ

UCUF-KシリーズカタログPDF

※記載事項は製品改良のため予告なく変更することがあります。

UCUF-Kシリーズ液体用超音波流量計は超純水や各種薬液などの小流量計測用に設計された流量計で、UCUF-K形検出器と、SFC形変換器で構成されます。UCUF形検出器の接液部はすべて半導体産業向けPFAで構成され、可動部がなく、液溜まりを生じやすいOリングなどの機械的シール部もありません。理想的なクリーン構造のため、半導体装置などの高いクリーン度が要求されるプロセスに最適な流量計です。

特長

  • · EMC 適合規格 :EN61326-1 : 2013/EN61326-2-3 : 2013
  • · RoHS対応
  • · 動粘度40 mm²/s までの高粘度流体の測定が可能
  • · 精度は指示値の±1%以内(流速1 m/s以上において)
  • · 広いレンジアビリティ(100:1 代表値)
  • · 理想的なクリーン構造の検出器
  • · 腐食に強く、取付けが容易

主な用途

  • · 半導体製造プロセスの純水・超純水の流量測定
  • · 各種薬液注入プロセスの流量測定
  • · 高腐食性液体の流量測定
  • · CMP スラリー流量測定
  • · その他、小~中口径プロセス液体流量測定
  • · 洗浄装置、CMP 装置の流量計測・制御に最適

主な仕様

検出器仕様

口径 4mm、 6mm、10mm、15mm、20mm
測定対象 液体全般(気泡を含まない液体、混合液は均一に溶解していること)
流量レンジ 最小 : 0 ~ 0.8 L/min(04K) 、最大 : 18.8 ~ 80 L/min(20K)
流体音速 1000 ~ 2200 m/s
流体動粘度 0.3 ~ 40mm²/s
流体温度 +10 ~ +60℃
流体圧力 0 ~ 0.5MPa(G)
接液部材質 New PFA
プロセス接続 PFAチューブエンド

対応変換器

形式 SFC3000 SFC4000
取付け方法 DINレール取付け パネル取付け
外観 超音波流量計 変換器 SFC3000 超音波流量計 変換器 SFC4000