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流量液体用省スペース超音波流量計UCUF-Eシリーズ

液体用省スペース超音波流量計 UCUF-Eシリーズ

UCUF-EシリーズカタログPDF

※記載事項は製品改良のため予告なく変更することがあります。

UCUF-Eシリーズ液体用超音波流量計は超純水や各種薬液などの小流量計測用に設計された流量計で、UCUF-E形検出器と、SFC形変換器で構成されます。
UCUF形検出器の接液部はすべて半導体産業向けPFAで構成され、可動部がなく、液溜まりを
生じやすいOリングなどの機械的シール部もありません。理想的なクリーン構造のため、半導体装置などの高いクリーン度が要求されるプロセスに最適な流量計です。
SFC形変換器は、半導体プロセス、薬液プロセス等で問題であった、流体に含まれる気泡に対する影響を格段に軽減しています。 各種薬液に対応するため流体動粘度影響をキャンセルする補正機能が搭載されています。RS485通信機能によるプロセスの集中管理が可能です。(詳細は変換器テクニカルガイダンスを参照ください。)

特 長

  • · EMC 適合規格 :EN61326-1 : 2013/EN61326-2-3 : 2013
  • · RoHS対応
  • · コネクタ構造の着脱式センサケーブルを採用
  • · 動粘度40 mm²/sまでの高粘度流体の測定が可能
  • · 精度は指示値の±1%以内(流速1 m/s以上において)
  • · 広いレンジアビリティ(100:1 代表値)
  • · 理想的なクリーン構造の検出器
  • · 腐食に強く、取付けが容易

主な用途

  • · 半導体製造プロセスの純水、超純水の流量測定
  • · 各種薬液注入プロセスの流量測定
  • · 高腐食性液体の流量測定
  • · CMP スラリー流量測定
  • · その他、小~中口径プロセス液体流量測定
  • · 洗浄装置、CMP 装置の流量計測・制御に最適

主な仕様

検出器仕様

形式 UCUF-04E/06E
測定対象 液体全般(気泡を含まない液体、混合液は均一に溶解していること)
流量レンジ
04E:
0 ~ 50mL/min(最小)
0 ~ 3000mL/min(最大)
06E:
0 ~ 400mL/min(最小)
0 ~ 8000mL/min(最大)
流体音速 1000 ~ 2200m/s
流体動粘度 0.3 ~ 40mm²/s
流体温度 +10 ~ 60℃
流体圧力 0 ~ 0.5MPa
材質 本体(接液部)材質 : New PFA(PFOAフリー)
センサ/ ケーブルキャップ材質 : PP
キャップ部シール材質 : フッ素ゴム
プロセス接続 PFAチューブエンド

対応変換器

形式 SFC3000
入力 センサ信号:専用ケーブル(BNCコネクタ)
パルス出力 周波数パルス出力、積算パルス出力またはFAULT出力を選択可能
オープンコレクタ 負荷定格 : DC30V、15mA以内

・周波数パルス出力
デューティ比 : 1 :1
パルスレート : 0 ~ 1000Hz(フルスケール)

・積算パルス出力
単位 :×0.1mL、×1mL、×10mL、×1L
パルス幅:0.5ms、50ms、100ms

・FAULT出力(変換器、検出器の異常時に出力)
NO、NC選択可能
電流出力 DC4~20mA 負荷抵抗:500Ω以内
ローカットオフ 0 ~ 25% F.S
通信 RS485通信機能搭載 プロトコル:MODBUS 最大32台まで接続可能
電源 DC24V±10%
構造 IP20(屋内仕様)
設置 DIN レール取付け