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UCUF-Eシリーズ液体用超音波流量計は超純水や各種薬液などの小流量計測用に設計された流量計で、UCUF-E形検出器と、SFC形変換器で構成されます。
UCUF形検出器の接液部はすべて半導体産業向けPFAで構成され、可動部がなく、液溜まりを
生じやすいOリングなどの機械的シール部もありません。理想的なクリーン構造のため、半導体装置などの高いクリーン度が要求されるプロセスに最適な流量計です。
SFC形変換器は、半導体プロセス、薬液プロセス等で問題であった、流体に含まれる気泡に対する影響を格段に軽減しています。
各種薬液に対応するため流体動粘度影響をキャンセルする補正機能が搭載されています。RS485通信機能によるプロセスの集中管理が可能です。(詳細は変換器テクニカルガイダンスを参照ください。)
測定対象 | 液体全般(気泡を含まない液体、混合液は均一に溶解していること) |
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口径 | 04E:4mm、06E:6mm |
流量レンジ |
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流体温度 | +10 ~ 60℃ |
流体圧力 | 0 ~ 0.5MPa |
プロセス接続 | PFAチューブエンド |
測定精度 |
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形式 | SFC3000 |
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入力 | センサ信号:専用ケーブル(BNCコネクタ) |
パルス出力 |
周波数パルス出力、積算パルス出力またはFAULT出力を選択可能 オープンコレクタ 負荷定格 : DC30V、15mA以内 ・周波数パルス出力 デューティ比 : 1 :1 パルスレート : 0 ~ 1000Hz(フルスケール) ・積算パルス出力 単位 :×0.1mL、×1mL、×10mL、×1L パルス幅:0.5ms、50ms、100ms ・FAULT出力(変換器、検出器の異常時に出力) NO、NC選択可能 |
電流出力 | DC4~20mA 負荷抵抗:500Ω以内 |
ローカットオフ | 0 ~ 25% F.S |
通信 | RS485通信機能搭載 プロトコル:MODBUS 最大32台まで接続可能 |
電源 | DC24V±10% |
構造 | IP20(屋内仕様) |
設置 | DIN レール取付け |