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流量コンパクト超音波流量モニタUCF006

コンパクト超音波流量モニタ UCF006

UCF006カタログPDF

※記載事項は製品改良のため予告なく変更することがあります。

UCF006はコンパクトモデルの超音波流量モニタです。 流量測定部をストレート構造にすることで、半導体プロセスにおいて問題であった流体に含まれる気泡に対する影響を格段に軽減したことを特徴としております。 また、ストレート管路のため、圧力損失がほとんど無く、ラインの圧力低下を軽減できます。 さらに時間分解能の向上と信号処理の高速化により従来製品と比較して低流量域で計測の安定度が向上しました。 半導体製造装置などのクリーン度の要求されるプロセスに最適です。

特 長

  • · 耐気泡性能を大幅に改善

    液体中に気泡が混入すると超音波の伝播が阻害され、流量計測が不安定になります。本製品は、流量測定部をストレート構造にすることで、流量計測の安定性を向上させる事に成功しました。

  • · 低圧力損出

    ストレート管路のため、圧力損失がほとんど無く、ラインの圧力低下を軽減

  • · 省スペース

    検出器と変換器を一体構造にすることで、省スペース化を実現

  • · 適合規格

    EMC:EN61326-1:2013
    RoHS対応

主な仕様

測定対象
流量範囲 0 ~ 8000 mL/min
流体温度 10 ~ 80℃ (周囲温度 0 ~ 50℃)
流体圧力 0 ~ 0.5 MPa
プロセス接続 3/8"PFAチューブエンド(外形寸法 … φ9.53、内径寸法 … φ6.35)
測定精度 ±2% R.D.(1700mL/min以上)
±34mL/min(1700mL/min未満)
(ただし20℃の水を流した場合)
ケーブル 多芯専用ケーブル 5m(標準)
構造 IP65 (屋内仕様)