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流量ガイド波式クランプオン超音波流量計GST / SFC011GS

GST/SFC011GSカタログPDF

※記載事項は製品改良のため予告なく変更することがあります。

GST/SFC011GSは小口径配管用のクランプオン超音波流量計です。既設のチューブを挟むだけで流量計測が可能な為、配管の施工が不要です。配管内は実質的にクリーンに保たれます。
半導体製造装置などのクリーン度の要求されるプロセスに最適です。

 · 検出器:GST
 · 変換器:SFC011GS

特 長

  • · クランプオン

    既設のチューブを挟むだけで流量計測可能
    配管内に接触しない為、本質的にクリーン

  • · 省エネ、省スペース

    SFC011GS 1台で最大6ラインを同時計測可能
    複数台連結接続可能(渡り配線不要)

  • · 高速演算

    30msの演算処理

  • · ゼロ点調整

    計測前にゼロ点調整を行うことで計測する流体に対して最適な条件で計測を開始できます。

  • · 豊富な機能

    ・ 7Seg LED(赤色、4 桁)で瞬時流量、ステータスを表示
    ・ 瞬時流量の各種アナログ出力(形式により選択)
    ・ 周波数出力(1kHz F.S.)、エラー出力、瞬時流量上下限警報、積算流量出力、積算流量上限警報(オープンコレクタ)
    ・ RS-485通信でパラメータ設定や流量データを取得可能

  • · 適合規格

    · EMC適合規格: CISPR11:2009+A1:2010 Group1 ClassA、 EN61326-2-3:2013
    · RoHS2対応

主な仕様

検出器

形式 GST
流体 純水、フォトレジスト、Low-K材、シンナー など
(気泡を含まない液体)
流量 最大 0 ~ 2.0 L/min
最小 0 ~ 0.5 L/min
精度 ±2% of R.D.
(流量0.8 L/min以下は ±0.016 L/min)
温度 常温 (±0.5℃)
チューブサイズ PFA 1/8”、 PFA 1/4”、
PFA φ4、 PFA φ5、 PFA φ6
材質 PPS GF (30%)
構造 IP20相当 (屋内仕様)

変換器

形式 SFC011GS
チャンネル数 6
ディスプレイ 4桁 (瞬時流量、状態)
出力
デジタル出力: 
NPN オープンコレクタ
負荷定格DC30V、10mA
周波数、エラー、瞬時流量上下限警報、積算流量、
積算流量上限警報
アナログ出力: 
DC 4-20mA(標準)負荷抵抗250Ω以下
電源 DC 24V ±10%
構造 IP20 相当 (屋内仕様)
取付 DINレール取付