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流量パージメータP-830

パージメータ P-830

P-830カタログPDF

製品ご選定のアドバイスカタログPDF

※記載事項は製品改良のため予告なく変更することがあります。

P-830 は従来のパージメータの構造、材質を検討・改良し、耐熱130℃をクリアーしました。

主な用途

半導体製造装置冷却水ライン

標準仕様

計測流体 液体(水相当:密度1.0g/cm³ 粘度1.0mPa・s)
流量範囲
水 :  
最小 0.1 ~ 1 L/min
最大 1.5 ~ 7 L/min

・流量範囲の換算方法は、P形機能・選定について(TG-S0001)を参照
・流量目盛を選択の際は、標準流量表を参照
目盛範囲 10 : 1 (一部10 : 2 となります)
指示精度 ±10% F.S.
流体圧力 1 MPa max.
流体温度 最高130 ℃
材質
本体接液部 : 
SCS14/SUS304
テーパ管 : 
耐熱ガラス
パッキン : 
フッ素ゴム(最高120℃)
・パッキン材質の最高流体温度は、一般的なデータであり、 使用条件や環境によって変わることがあります
取付板 : 
アルミニウム
カバー : 
アクリル
接続規格/ 口径 Rc : 3/8"
NPT : 3/8"
SW : 3/8"(標準)
取付方法 パネルの前面ねじ取付(標準)
質量 約0.5kg