流量パージメータP-830

P-830

P-830カタログPDF

製品ご選定のアドバイスカタログPDF

※記載事項は製品改良のため予告なく変更することがあります。

P-830 は従来のパージメータの構造、材質を検討・改良し、耐熱130℃をクリアーしました。

主な用途

半導体製造装置冷却水ライン

標準仕様

測定流体 液体(水相当:密度1.0g/cm³ 粘度1.0mPa・s)
流量範囲 最小 0.1 ~ 1 L/min
最大 1.5 ~ 7 L/min
・流量範囲の換算方法は、P形機能・選定について(TG-S0001)を参照
・流量目盛を選択の際は、標準流量表を参照
目盛範囲 10 : 1 (一部10 : 2 となります)
指示精度 ±10 % F.S.
流体圧力 最高1 MPa
流体温度 最高130 ℃
材質 本体接液部 SCS14/SUS304
テーパ管 耐熱ガラス
パッキン フッ素ゴム(最高130℃)
・パッキン材質の最高流体温度は、一般的なデータであり、 使用条件や環境によって変わることがあります
取付板 アルミニウム
カバー アクリル
接続規格/口径 Rc : 3/8"
NPT : 3/8"
SW : 3/8"(標準)
取付方法 パネルの前面ねじ取付(標準)
質量 約0.5kg