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流量パージメータP-830

パージメータ P-830

P-830カタログPDF

製品ご選定のアドバイスカタログPDF

※記載事項は製品改良のため予告なく変更することがあります。

P-830 は従来のパージメータの構造、材質を検討・改良し、耐熱130℃をクリアーしました。

主な用途

半導体製造装置冷却水ライン

標準仕様

測定対象 液体(水相当:密度1.0g/cm³ 粘度1.0mPa・s)
口径 Rc : 3/8"
NPT : 3/8"
SW : 3/8"(標準)
流量レンジ
水 :  
最大 1.5 ～ 7 L/min
最小 0.1 ～ 1 L/min

・流量範囲の換算方法は、P形機能・選定について(TG-S0001)を参照
・流量目盛を選択の際は、標準流量表を参照
流体温度 最高130 ℃
流体圧力 1 MPa max.
プロセス接続 Rc、NPT、SW
測定精度 ±10% F.S.