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流量パージメータP-773

パージメータ P-773

P-773カタログPDF

製品ご選定のアドバイスカタログPDF

※記載事項は製品改良のため予告なく変更することがあります。

773はすべてPFAで一体成型した、パージメータです。 シール部もすべて溶接構造とし、Oリングなどによる機械的なシール部を排除しました。またフロート軸もなくクリーン度がさらに向上しました。両面寸法115mmのコンパクトな形状で各装置のアッセンブリも容易です。

主な用途

半導体製造ラインの超純水、薬液用

標準仕様

測定流体 液体全般
流量範囲
水 :  
最小0.1 ~ 1 L/min
最大1 ~ 10 L/min
目盛範囲 10 : 1
指示精度 ±5% F.S.
流体圧力 0.5 MPa max.
流体温度 最高60℃
材質
本体 : 
PFA、一体成型
テーパ管 : 
PFA、一体成型
パッキン : 
PTFE(バルブ付の場合)
サイドプレート : 
PVC
カバー : 
PVC
接続規格 チューブエンド継手: (OD) 3/8"(標準)、その他
Rc : 1/4"、3/8"
NPT : 1/4"、3/8"
取付方法 パネルの前面ねじ取付(標準)
質量 約0.6kg