お問い合わせ

MENU
閉じる

流量パージメータP-773

パージメータ P-773

P-773カタログPDF

製品ご選定のアドバイスカタログPDF

※記載事項は製品改良のため予告なく変更することがあります。

773はすべてPFAで一体成型した、パージメータです。 シール部もすべて溶接構造とし、Oリングなどによる機械的なシール部を排除しました。またフロート軸もなくクリーン度がさらに向上しました。両面寸法115mmのコンパクトな形状で各装置のアッセンブリも容易です。

主な用途

半導体製造ラインの超純水、薬液用

標準仕様

測定対象 液体全般
口径 チューブエンド継手: (OD) 3/8"（標準)、その他
Rc : 1/4"、3/8"
NPT : 1/4"、3/8"
流量レンジ
水: 
最大1 ～ 10 L/min
最小0.1 ～ 1 L/min
流体温度 最高60℃
流体圧力 0.5 MPa max.
プロセス接続 チューブエンド継手、Rc、NPT
測定精度 ±5% F.S.