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流量パージメータP-771

パージメータ P-771

P-771カタログPDF

製品ご選定のアドバイスカタログPDF

※記載事項は製品改良のため予告なく変更することがあります。

オールフッ素樹脂、ウルトラクリーンパージメータ。接液部はもとより、機構部分からも金属を排除し、雰囲気に対しても錆などの発生を防止します。全PFA 成型、チューブ直結継手採用。 純水、超純水、薬液など半導体製造プロセスでの液体流量計測に最適。

主な用途

半導体製造ラインの超純水、薬液用

標準仕様

測定対象 液体全般
口径 チューブエンド継手 : φ6.35×t1(標準)、φ6×t1、φ8×t1
ピラー継手(スーパー300タイプ) : φ6×t1 チューブ接続用、φ8×t1 チューブ接続用
Rc : 1/8"
流量レンジ
水: 
最大0.2 ~ 2 L/min
最小3 ~ 15 mL/min
・流量範囲の換算方法は、P 形機能・選定について(TG-S0001)を参照
・流量目盛を選択の際は、標準流量表を参照
流体温度 最高60℃
流体圧力 0.5 MPa max.
プロセス接続 チューブエンド継手、ピラー継手、Rc
測定精度 ±5% F.S.

最高流体温度は、一般的なデータであり、使用条件や環境によって変わることがあります。