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流量パージメータP-771

パージメータ P-771

P-771カタログPDF

製品ご選定のアドバイスカタログPDF

※記載事項は製品改良のため予告なく変更することがあります。

オールフッ素樹脂、ウルトラクリーンパージメータ。接液部はもとより、機構部分からも金属を排除し、雰囲気に対しても錆などの発生を防止します。全PFA 成型、チューブ直結継手採用。 純水、超純水、薬液など半導体製造プロセスでの液体流量計測に最適。

主な用途

半導体製造ラインの超純水、薬液用

標準仕様

測定流体 液体全般
流量範囲
水 :  
最小3 ~ 15 mL/min
最大0.2 ~ 2 L/min
・流量範囲の換算方法は、P 形機能・選定について ( TG-S0001)を参照
・流量目盛を選択の際は、標準流量表を参照
目盛範囲 10 : 1(一部10 : 2となります)
指示精度 ±5% F.S.
流体圧力 0.5 MPa max.
流体温度 最高60℃
材質
本体接液部 : 
PFA
テーパ管 : 
PFA
パッキン : 
PTFE(バルブ付の場合)
目盛板 : 
PVC
接続規格/ 口径 チューブエンド継手 : φ6.35×t1(標準)、φ6×t1、φ8×t1
ピラー継手(スーパー300タイプ) : φ6×t1 チューブ接 続用、φ8×t1 チューブ接続用
Rc : 1/8"
取付方法 パネルの前面ねじ取付
質量 約0.2kg

最高流体温度は、一般的なデータであり、使用条件や環境によって変わることがあります。