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オールフッ素樹脂、ウルトラクリーンパージメータ。接液部はもとより、機構部分からも金属を排除し、雰囲気に対しても錆などの発生を防止します。全PFA 成型、チューブ直結継手採用。 純水、超純水、薬液など半導体製造プロセスでの液体流量計測に最適。
半導体製造ラインの超純水、薬液用
測定対象 | 液体全般 |
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口径 | チューブエンド継手 : φ6.35×t1(標準)、φ6×t1、φ8×t1 ピラー継手(スーパー300タイプ) : φ6×t1 チューブ接続用、φ8×t1 チューブ接続用 Rc : 1/8" |
流量レンジ |
・流量目盛を選択の際は、標準流量表を参照 |
流体温度 | 最高60℃ |
流体圧力 | 0.5 MPa max. |
プロセス接続 | チューブエンド継手、ピラー継手、Rc |
測定精度 | ±5% F.S. |
最高流体温度は、一般的なデータであり、使用条件や環境によって変わることがあります。