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流量11. 流量コントローラ（装置用）

流量コントローラ（装置用）

純水、超純水、各種薬液などの小流量～微小流量を制御可能なフッ素樹脂製接液部の流量コントローラです。
オールインワンの一体形および設置の自由度が高い分離形をラインアップ。
半導体製造プロセスや薬液制御プロセスに最適です。

一体形流量コントローラ

一体形流量コントローラ CLFC300
一体形流量コントローラ
CLFC300

流量検出にPFA製高精度超音波流量計を採用し、コントロール弁、制御回路部を一体化した流量コントローラです。純水、超純水、各種薬液、CMPスラリーなどの流量制御にご使用いただけます。

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分離形流量コントローラ

流量コントローラ FC6000
流量コントロールシステム
FC6000

PFA製UCUF形高精度超音波流量計、FCV形コントロール弁および超音波流量計用変換器搭載のFCA6000形コントローラで構成される分離形の流量コントローラです。超音波流量計検出器およびコントロール弁の選択により、広範囲の流量制御が可能です。純水、超純水、各種薬液、CMPスラリーなどの流量制御にご使用いただけます。

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分離型流量コントロールシステム FC6500
流量コントロールシステム
FC6500NEW

FC6500は分離型の流量コントロールシステムです。各種センサからの流量信号をアナログ入力で取り込み、目標値で流量が一定になるようバルブが動作します。FC6500シリーズは、接液部がオールフッ素樹脂性のコントロール弁と流量コントローラで構成されております。

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