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流量小流量用変換器一体形超音波流量計CLFC300シリーズ

CLFC300

CLFC300シリーズカタログPDF

※記載事項は製品改良のため予告なく変更することがあります。

CLFC300シリーズは、超音波流量計検出器、コントロール弁、流量演算およびバルブ制御を行う回路部を一体化した流量コントローラです。
目標流量に極めて速いスピードで追随させることが出来る制御機能を搭載しており、薬液の定量供給、DIWの流量制御、スラリー流体の一定値制御など、半導体装置で要求される様々な液体のコントロール用としてお使いいただけます。

特 長

・ 流量計測性能向上
従来の演算処理を改良し、さらに気泡耐性を向上させました。
流量計測の安定性も向上しました。
・ 制御性向上
ステップ応答性能としては最新の演算回路により極めて速い応答性を実現し、設定値に対して1.5 秒以内の制御速度を実現しました。
・ 2 種類のバルブタイプ選択可能
薬液やDIW 用としてニードルバルブ、スラリー流体に対してはピンチチューブバルブを取り揃えています。
ピンチチューブタイプには新たにSTA-PURE Style Pcs(スタピュア)チューブを追加しました。
スタピュアチューブは耐久性に優れ、従来定期交換が必要であったチューブ交換が不要になります。
・ 小型軽量化
超音波流量計検出器、コントロール弁、回路部を小型のケースに収納しており、装置内への取り付けに際して省スペースを実現しました。
構造を再設計し従来品をさらにコンパクト化しました。(20%ダウン)
小型化に伴い重量も削減しました。(35% ダウン)
・ 省配線・配管
設置に際しては、流体入口・出口の継ぎ手を接続することと、電気配線を多芯ケーブルで行うのみであり、複雑な配管・配線が不要です。
・ 環境対応
消費電流を削減しました。(実測値35%ダウン)
RoHS に対応した部品で構成されています。
・ 高耐食
接液部にはPFA およびPTFE という極めて耐食性の高い材料を採用し、半導体産業や薬液を扱う様々な産業での適用が可能です。
ケース材質にもPVDF を採用しています。
・ EMC 適合
EN 61326-1:2006

主な用途

・ 薬液やDIW の供給流量の設定
定量ポンプやタンクへの加圧により制御していた様々な薬液やDIWの供給ラインにCLFC300を設置することにより、高精度かつ安定した供給液体量の制御が可能となります。
・ 濃度管理
薬液を純水等で希釈して一定濃度の制御する場合、薬液と純水ラインにCLFC300 を設置することで、高度な濃度制御・濃度管理が可能となります。
・ スラリー流体の安定供給
CMP 装置の各種スラリー供給ラインにCLFC300 を設置することによりスラリーの安定供給・定量供給が可能となり、使用液体の無駄を防止することが可能となります。

主な仕様

測定・制御対象 液体全般(安定した計測には、液体に気泡を含まないこと。)
流量レンジ スラリー用(ピンチチューブバルブ)
50 ~ 500mL/min
純水、薬液用(ニードルバルブ)
5~50mL/min ~ 200 ~ 2000mL/min
使用最大圧力 0.4MPa
プロセス接続 φ1/4" SUPER300 TYPE PILLAR FITTING
φ1/4" FLARE TYPE FITTING
接液部材質 PFA、PTFE(ピンチチューブ)
出力精度 アナログ出力付加誤差:±0.2%(F.S.)
電 源 24VDC(±10%)
適合規格及びEMC適合 RoHS対応
EMC規格適合:EN61326-1:2006
接点出力 オープンコレクタ2接点(標準:ノーマルオープン)
定格:DC30V, 50mA(MAX)
・バルブ異常時
・流量異常時