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UCUF-Mシリーズ液体用超音波流量計は超純水や各種薬液などの小流量計測用に設計された流量計で、UCUF-M形検出器と、SFC形変換器で構成されます。
UCUF形検出器の接液部はすべて半導体産業向けPFAで構成され、稼動部がなく、液溜まりを生じやすいOリングなどの機械的シール部もありません。
理想的なクリーン構造のため半導体装置などのクリーン度の要求されるプロセスに最適な流量計です。
SFC形変換器は、半導体プロセス、薬液プロセス等で問題であった流体に含まれる気泡に対する影響を格段に軽減しています。
各種薬液に対応するため流体動粘度影響をキャンセルする補正機能が搭載されています。
DINレール取付タイプでは省スペース化に最適です。
RS485通信機能によるプロセスの集中管理が可能です。(詳細は変換器テクニカルガイダンスを参照ください。)
測定対象 | 液体全般 |
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口径 | 2.5 〜 20mm |
流量レンジ | 最大:18.8 ~ 80 L/min 最小:0 ~ 0.025 L/min |
流体温度 | 10 ~ 90℃ |
流体圧力 | 0.5 MPa max. |
プロセス接続 | PFAチューブエンド |
測定精度 | ±1.0% (流速1m/s以上) |