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流量ミニサーマルマスフローメータTF-600D/600Vシリーズ

TF-601D/601V

TF-600D/600VシリーズカタログPDF

※記載事項は製品改良のため予告なく変更することがあります。

本器は、コストパフォーマンスを最優先に開発されたTF-600形ミニミニサーマルマスフローメータに視認性に優れたデジタル表示器を搭載し、アナログ/デジタ出力(オプション)も装備したマスフローメータです。 現場で指示値を確認することも遠隔地で指示値を管理することも可能です。また、流量調整バルブ一体タイプもラインナップしており、省スペースでの装置組み込み用に最適です。

特 長

  • · 熱式質量流量計測方式

    運転圧力、温度変化に影響されずに質量流量の計測ができます

  • · 高速応答

    応答速度は90% 応答2 秒です

  • · 全量通過検出方式

    全量通過方式のシンプルな構造でメンテナンスが容易です

  • · デジタル表示付き

    LEDタイプの自発光表示の為、視認性に優れます

  • · アナログ出力、積算パルス出力、流量警報出力付

    遠隔監視、バッチ運転及びセーフティ運転が容易に得られます

  • · ユーザーフレンドリー

    各種設定は表示パネル設定キーでできます

  • · CE マーキング対応

主な仕様

基本形式 TF-601D
TF-601V
TF-621D
TF-621V
TF-631D
TF-631V
TF-641D
測定対象 空気、窒素 ※その他ガスにつきましては、お問合せ下さい
流量レンジ
最大:
0 ~ 100 L/min(nor)
最小:
0 ~ 5 L/min(nor)
最大:
0 ~ 200 L/min(nor)
最小:
0 ~ 150 L/min(nor)
最大:
0 ~ 500 L/min(nor)
最小:
0 ~ 300 L/min(nor)
最大:
0 ~ 1000 L/min(nor)
最小:
0 ~ 600 L/min(nor)
流体温度 0 ~ 50℃
流体圧力 -0.05 ~ 0.75 MPa
出力
アナログ:
DC 0 ~ 5V
積算パルス:
オープンコレクタ、パルス幅 50m sec
流量警報:
オープンコレクタ、上下限接点×1
デジタル出力:
RS485
精度
瞬時流量:
±3% F.S. ±1dig
積算流量:
±3.1% F.S. ±1dig
アナログ出力:
±3% F.S.
接ガス部材質
本体、流路:
SCS16、SUS316
センサ:
POM、Ni、ポリイミド、エポキシ
シール:
フッ素ゴム
プロセス接続 Rc1/4
1/4SWL、 1/4VCR
Rc3/8、3/8SWL
3/8VCR 相当品
Rc1/2、 1/2SWL
1/2VCR 相当品
Rc3/4、 3/4SWL
その他の機能 流量調整バルブ付を選択可能 -
電源 DC24V±10%
電気接続 コネクタ接続(専用ケーブル付)