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TF-600は空気、窒素などのガス流量を温度、圧力の変化に影響されずに質量流量を測定するサーマルマスフローメータです。簡潔な機能と、デザインの見直しにより、従来の高性能はそのままに、小型・軽量化、ハイコストパフォーマンスを実現しました。一般工業用各種流量モニタ的なアプリケーションのほか、装置組込み用にも最適です。
測定対象 | 空気、窒素 |
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口径 | 1/4 |
流量レンジ | 最大:0 ~ 100L/min(nor) 最小:0 ~ 20L/min(nor) |
流体温度 | 0 ~ 60℃ |
流体圧力 | 1.0 MPa max. |
プロセス接続 | Rcネジ |
測定精度 | ±5% F.S. |