お問い合わせ

流量大流量タイプサーマルマスフローメータTF-600 シリーズ

大流量タイプサーマルマスフローメータ TF-600

TF-600 シリーズカタログPDF

※記載事項は製品改良のため予告なく変更することがあります。

TF-600は空気、窒素などのガス流量を温度、圧力の変化に影響されずに質量流量を測定するサーマルマスフローメータです。簡潔な機能と、デザインの見直しにより、従来の高性能はそのままに、小型・軽量化、ハイコストパフォーマンスを実現しました。一般工業用各種流量モニタ的なアプリケーションのほか、装置組込み用にも最適です。

特 長

  • · ハイコストパフォーマンス
  • · 流体温度、圧力変化にほとんど影響されずに質量流量の測定が可能
  • · 90%応答 2秒以内の高速応答性
  • · 全量通過方式のシンプルな構造でメンテナンス容易
  • · 汎用の温度センサ採用で信頼性を確保
  • · 市販の電源を使用して簡単に流量のアナログ出力が可能

主な仕様

測定対象 空気、窒素
流量レンジ 0 ~ 20L/min(nor)
0 ~ 30L/min(nor)
0 ~ 50L/min(nor)
0 ~ 80L/min(nor)
0 ~ 100L/min(nor)
流体温度 0 ~ 60℃
流体圧力 -0.05 ~ 1.0 MPa
出力 DC 0 ~ 5V
精度 ±5% F.S.
応答性 2秒(90%応答)
接ガス部材質 本体、流路:SCS14、SUS316
センサ: POM、Ni、ポリイミド、エポキシ
シール: フッ素ゴム
プロセス接続 Rc 1/4
電源 DC ±12V、+85mA、-25mA
電気接続 ケーブル付コネクタ