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流量サーマルマスフローメータTF-4000

サーマルマスフローメータ TF-4000

TF-4000カタログPDF

※記載事項は製品改良のため予告なく変更することがあります。

デジタル表示、RS485通信！

TF-4000は、弊社のサーマル質量流量測定技術と豊富な経験を生かし開発した、 コンパクト・高コストパフォーマンスタイプのサーマルマスフローメータです。コンパクトながら視認性に優れたデジタル表示器を内蔵し、アナアログ/デジタル 出力も装備しています。現場指示のほか遠隔指示も可能です。各種装置組み込み用に最適です。

特　長

  • · 最小0 ～ 2L/min(nor)、最大0 ～ 1000L/min(nor)をカバーする広い流量範囲
  • · 流路はステンレス精密鋳造により低価格化を実現
  • · 温度、圧力の変化に影響されない熱式質量流量測定方式
  • · 高信頼性小型Pt温度センサにより高速応答を実現
  • · デジタル表示器付き
  • · デジタルおよびアナログインタフェース両機能を完備
  • · マイコン利用の直線化により直線性が向上、自動調整回路により高精度を実現
  • · 警報、平均化、積算パルス発生など各種機能を内蔵
  • · CEマーキングに対応

用　途

半導体分野、バイオケミカル、医療分野、各種精密機械分野。

主な仕様

測定対象 空気、窒素、酸素
口径 1/4、3/8、1/2、3/4
流量レンジ 最大 : 0 ～ 1000L/min(nor)
最小 : 0 ～ 2L/min(nor)
流体温度 0 ～ 60℃
流体圧力 1.0 MPa max.
プロセス接続 Rc
測定精度 ±2% F.S.