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流量マスフローメータ/コントローラHM5000

マスフローメータ/コントローラ TM1400

HM5000カタログPDF

※記載事項は製品改良のため予告なく変更することがあります。

HM5000は気体用のマスフローメータです。 汎用、高性能の2タイプがあり、用途・目的に合わせて選択できます。

特 長

  • · 広い流量レンジ

    最小0 .5mL/min(nor)、最大 0 .400L/min(nor) の広範囲に対応

  • · 高精度

    ±1% F.S.(高性能タイプ)

  • · ハイブリッドIC化による信頼性向上と小形化

  • · オプションで機能アップが可能

    ソフトスタート機能(ノーマルクローズタイプのみ)
    出力信号1 .5VDC

用 途

  • · 一般工業プロセス
  • · 各種化学分析
  • · 半導体製造プロセス
  • · ガス定流量制御、混合制御
  • · 装置組込

主な仕様

タイプ 汎用タイプ
HM5122B
HM5123B
高性能タイプ
HM5111B
HM5112B
HM5113B
測定対象 気体全般
流量レンジ 最小 0 ~ 5mL/min(nor)
最大 0 ~ 400 L/min(nor)
温度範囲 5 ~ 45℃
圧力範囲 0.97 MPa max.
精度 ±2% F.S.
±4% F.S. (HM5123B)
±1% F.S.
±2% F.S. (HM5113B)
材質 管路 SUS316  シール フッ素ゴム
プロセス接続 標準1/4"~1/2"SW (オプション 1/4"~1/2"VCR、VCO)
電源 専用電源ユニット使用 または、±15VDC : 60mA
-15VDC : 350mA
出力 DC0-5V