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流量マスフローメータ/コントローラHM5000

マスフローメータ/コントローラ TM1400

HM5000カタログPDF

※記載事項は製品改良のため予告なく変更することがあります。

HM5000は気体用のマスフローメータです。 汎用、高性能の2タイプがあり、用途・目的に合わせて選択できます。

特 長

  • · 広い流量レンジ

    最小0 .5mL/min(nor)、最大 0 .400L/min(nor) の広範囲に対応

  • · 高精度

    ±1% F.S.(高性能タイプ)

  • · ハイブリッドIC化による信頼性向上と小形化

  • · オプションで機能アップが可能

    ソフトスタート機能(ノーマルクローズタイプのみ)
    出力信号1 .5VDC

用 途

  • · 一般工業プロセス
  • · 各種化学分析
  • · 半導体製造プロセス
  • · ガス定流量制御、混合制御
  • · 装置組込

主な仕様

タイプ 汎用
マスフローメータ
HM5122B、HM5123B
マスフローコントローラ
HM5172B、HM5182B
HM5173B 
高性能
マスフローメータ
HM5111B、HM5112B、HM5113B
マスフローコントローラ
HM5141B、HM5151B
HM5142B、HM5152B
HM5143B
測定対象 気体全般
口径 1/4"、3/8"、1/2"
流量レンジ 最大:0 ~ 400L/min(nor)
最小:0 ~ 30L/min(nor)
最大:0 ~ 400L/min(nor)
最小:0 ~ 5L/min(nor)
流体温度 5 ~ 45℃
流体圧力 0.97MPa max.
プロセス接続 標準 : SW (オプション:VCR、VCO)
測定精度 ±2.0% ~ ±4.0%F.S ±1.0% ~ ±2.0%F.S