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最小 0 〜5 mL/min(nor)、最大 0 〜20 L/min(nor) の広範囲に対応
±1.5% F.S( 汎用タイプ)
電源ユニット、デジタル指示計、設定器(コントローラのみ使用)を用意。設置、配線も容易。
タイプ | 低価格 マスフローメータ HM1121B マスフローコントローラ HM1171B、HM1181B |
汎用 マスフローメータ HM1111B マスフローコントローラ HM1141B、HM1151B |
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測定対象 | 気体全般 | |
口径 | 1/4" | |
流量レンジ | 最大 :0 ~ 20L/min(nor) 最小 :0 ~ 5mL/min(nor) |
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流体温度 | 5 ~ 45℃ | |
流体圧力 | 0.97MPa max. | |
プロセス接続 | 標準 : SW (オプション : VCR) | |
測定精度 | ±2.0% F.S | ±1.5% F.S. |