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流量耐圧防爆サーマルマスフローメータ、コントローラEP-TF-5000/EP-TC-1000

耐圧防爆サーマルマスフローメータ、コントローラ EP-TC-1000 耐圧防爆サーマルマスフローメータ、コントローラ EP-TF-5000

EP-TF-5000 / EP-TC-1000 カタログPDF

※記載事項は製品改良のため予告なく変更することがあります。

※本製品は一時的に販売を停止しております。
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EP-TF-5300シリーズは耐圧防爆形・気体用熱式質量流量計です。 各種ガスの質量流量を圧力、温度などプロセス条件に依存せず、計測することができます。
最小フルスケール5mL/min(nor)、最大フルスケール500L/min(nor)、最高使用圧力4.9MPaまでカバーするラインアップで幅広いアプリケーションに対応します。
また高圧用H-EP-TF-5300シリーズは最高使用圧力14.7MPaまで対応できます。
EP-TC-1000シリーズマスフローコントローラは耐圧防爆形コントロールバルブでEP-TF-5300シリーズ マスフローメータを流量計測器として組み合わせて使用します。最大100L/min(nor)、最高使用圧力2.9MPaまで広い制御差圧により各種気体の質量流量を高精度で自動的に制御します。
高圧用EP-TC-2000VシリーズはH-EP-TF-5300シリーズと組み合わせて使用します。最高使用圧力 9.8MPaまで対応可能です。

特　長

  • · 耐圧防爆構造

    マスフローメータ、マスフローコントローラともに水素雰囲気第一種場所まで対応します。用途が大きく広がりました。

  • · 高精度 ±1% F.S.

    精緻な理論と長年のノウハウで気体質量流量を高精度に計測します。

  • · 広い流量範囲

    実験プラントから大規模プロセスまで広い用途に役立ちます。

  • · TM-1400,TM3000 ミニコンバータユニットと組み合わせて表示、積算、制御が手軽にできます。

主な仕様

EP-TF-5000マスフローメータ

測定対象 気体全般（湿り気や固形物を含む気体にはおすすめできません）
口径 1/4 ～ 3/4
流量レンジ 最大：0 ～ 500L/min(nor)
最小：0 ～ 5mL/min(nor)
流体温度 5 ～ 50℃
流体圧力 4.9 MPa max. (標準タイプ)
14.7 MPa max. (高圧タイプ)
プロセス接続 Rcネジ、SW、フランジなど
測定精度 ±1.0％ F.S (25℃基準)

EP-TC-1000/2000コントローラ(コントロールバルブ)

測定対象 気体全般（湿り気や固形物を含む気体にはおすすめできません）
口径 1/4 ～ 3/8
流量レンジ 最大：0 ～ 100L/min(nor)
最小：0 ～ 5mL/min(nor)
流体温度 0 ～ 50℃
流体圧力 2.9 MPa max. (標準タイプ)
9.8 MPa max. (高圧タイプ)
プロセス接続 Rcネジ、SWなど