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流量気体用熱式流量計THシリーズ サーマルフローメータ

気体用熱式流量計 THシリーズ

TH シリーズ サーマルフローメータカタログPDF

※記載事項は製品改良のため予告なく変更することがあります。

THサーマルフローメータは熱伝達理論にもとづく東京計装オリジナルの気体用熱式流量計です。センサは各種用途に対応出来るよう、呼び径15A~1500Aまで対応可能です。
また、コンバータも使用用途に合わせた単機能タイプから高機能タイプまで各種取り揃えております。(サーマルフローメータはセンサとコンバータを組み合わせて使用します)

ラインアップと概略仕様

  • · 圧力および温度変動に影響されない質量流量計測が可能
  • · 低流速範囲から高流速範囲までワイドレンジで実用計測精度有り
  • · 可動部が無く高耐久性
  • · 0.1kPa以下の低圧力損失(TH-1600/TH-1800シリーズを除く)
  • · 整流器組込タイプは上流側直管部がほとんど不要(TH-1800シリーズおよびTH-1200+オプション整流器)
  • · -196℃の超低温から+550℃の超高温まで幅広く対応可能
  • · パージ機能付検出器はダスト・ミストを含むラインに対応可能

主な用途

  • · 半導体製造設備(ガスライン)
  • · 空調用ライン
  • · 医療用ガス供給ライン
  • · 低圧ガスライン
  • · ごみ焼却設備ライン

主な仕様

一般配管挿入形センサ (1)

形式 TH-1100 TH-1400 TH-1100-SP/
TH-3200-SP
外観 気体用熱式流量計 TH-1100 気体用熱式流量計 TH-1400 気体用熱式流量計 TH-1100-SP/TH-3200-SP
特長・タイプ 挿入形 挿入形(挿入長可変) 挿入形、パージ機能付中温用/高温用
プロセス接続 配管ノズルフランジ
(標準32AJIS10K)
配管ノズルフランジ
(標準40AJIS10K)
フランジ接続
(標準65AJIS10K)
配管口径 50A~350A
オプション400A ~1500A
50A~350A
オプション400A ~1500A
150A~1500A配管挿入形
最高使用温度区分 80℃/180℃/240℃ 80℃/180℃ 80℃/240℃/550℃
最高使用圧力 1.0 MPa max. TH-1100-SP: 1.0 MPa max.
TH-3200-SP: 0.1 MPa max.
流量レンジ 最大:空気 0 ~ 681490m³/h(nor)
最小:空気 0 ~ 45m³/h(nor)
最大:空気 0 ~ 391840/0 ~ 391800m³/h(nor)
最小:空気 0 ~ 120/0 ~ 255m³/h(nor)
検出器材質 検出器 : SUS304、SUS316、SUS316L
センサ : SUS316
シール : フッ素ゴム、その他

一般フランジ取付形センサ (2)

形式 TH-1200 TH-1700 TH-1800
外観 気体用熱式流量計 TH-1200 気体用熱式流量計 TH-1700 気体用熱式流量計 TH-1800
特長・タイプ インラインタイプ
フランジ接続形
小 ~ 中口径インラインタイプ
フランジ接続形
小 ~ 中口径インラインタイプ
整流器組込形
プロセス接続 配管フランジ接続
(標準JIS10K)
配管フランジ接続
(標準JIS10K)
またはRcねじ
配管口径 50A ~ 150A 15A ~ 50A
最高使用温度区分 80℃/180℃
最高使用圧力 1.0 MPa max.
流量レンジ
最大:
空気
0~7360m³/h(nor)
最小:
空気
0~45 m³/h(nor)
整流器有
最大:
空気
0~2605m³/h(nor)
最小:
空気
0~5m³/h(nor)
最大: 
空気
0~130 m³/h(nor)
最小 : 
空気
0~235 m³/h(nor)
最大 : 
空気
0~5855 m³/h(nor)
最小 : 
空気
0~105 m³/h(nor)
検出器材質 検出器 :
  SUS304、SUS316、SUS316L
センサ : SUS316
シール : フッ素ゴム、その他
検出器 : SCS14、SCS16、SUS304、SUS316、SUS316L
センサ : SUS316
シール : フッ素ゴム、その他

高・低温センサ

高温用最高550℃、低温用最低-196℃をカバーするサーマルフローメータです。
高温用TH-3200と低温用TH-3300の検出器があります。

形式 TH-3200 TH-3300
外観 TH-3100
特長・タイプ 挿入形、高温・低圧用 挿入形、低温・低圧用
配管口径 65A ~ 1500A
使用温度範囲 0 ~ 550℃ -196 ~ 0℃
最高使用圧力 0.1 MPa max.
流量レンジ 最小:空気 0 ~ 60m³/h(nor)
最大:空気 0 ~ 388900m³/h(nor)
検出器材質 検出器:SUS304、SUS316、SUS316L
センサ:SUS316L

組合せコンバータ

形式 TRX-600 TRX-700 TRX-900
外観 TRX-600 TRX-700 TRX-900
組み合わせ可能
センサ
TH-1100
TH-1200
TH-1400
TH-1700
TH-1800

TH-3200
TH-3300

TH-1100-SP
TH-3200-SP
TH-1100
TH-1200
TH-1400
TH-1700
TH-1800
特長 一般タイプ
フィールドマウント
インテリジェントタイプ
屋内パネル取付け
インテリジェントタイプ
フィールドマウント
ハウジング構造 IP65相当 IP20相当 IP54相当
表示 上段:瞬時流量6桁LED
下段:積算流量8桁LED
上段:瞬時流量5桁LCD
下段:積算流量7桁LCD
出力 アナログ:DC4 ~ 20mA
積算パルス:オープンコレクタ
デジタル:RS-485
搭載機能 標準:自己診断機能
オプション:温度補正
標準:自己診断機能
オプション:温度・圧力補正
電源 AC100,110,115V ±10%
AC200,220,240V ±10%
AC90~264V 50/60Hz
精度 2.0% F.S. ±1digit 1.0% F.S. ±1digit